NanoXSpot微焦點測試儀,NanoXSpot焦點測試儀用于對光斑尺寸 <100 µm 的 X 射線管進行質(zhì)量保證,根據(jù) prEN 12453-6、prEN 12453-7 評估焦點尺寸 <100 µm 和光斑形狀
歐洲計量創(chuàng)新與研究計劃項目開發(fā)了新的 NanoXSpot (NxS) 測量儀,具有線組、西門子星形和孔圖,用于測量小至 100 納米的聚焦光斑計算機斷層掃描 (CT)可以根據(jù)從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數(shù)據(jù)集,這項技術(shù)被廣泛用于醫(yī)學中的患者診斷。此外,它還被用于航空航天和電子等行業(yè)的無損檢測、缺陷與內(nèi)部結(jié)構(gòu)的評估以及產(chǎn)品尺寸的驗證。這些行業(yè)對檢測分辨力的要求小至納米級。
X 射線管的質(zhì)量保證 – 光斑尺寸和形狀
一段時間后,可能會觀察到 X 射線管(尤其是納米和微焦管)目標的燒毀使用量,這可能導致光斑尺寸增加。一些管制造商允許管目標旋轉(zhuǎn)。這允許改變目標上的焦點位置并提供不失真的焦點尺寸
NanoXSpot 測量儀 (NxS)
? 全新測量儀設計 NxS-1020 最終確定:
• 使用新開發(fā)的算法進行焦點測量和特性分析
• 全新焦點 CT 重建算法
? 樣品支架設計便于測量儀使用
? NxS 測量儀上的圖案組(4 個象限):
• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 3-12 µm(Q1)
• 會聚線組圖案(Q2 和 Q3)(類似于西門子星)
• 直徑為 5 µm 至 1 mm 的孔圖案(Q4)
重新設計的 NxS-1022b 儀表
? 樣品架設計便于使用儀表
? NxS 儀表上的圖案組(4 個象限):
• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 4-20 µm(Q1)
• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 63 µm(Q2)
• 直徑為 5 µm 至 1000 µm 的孔圖案(Q3)
• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu),特征尺寸為 25-50 µm(Q4)
NanoXSpot焦點測試儀規(guī)格: