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RTP快速升降溫退火爐

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更新時間：2024-10-03 16:18:04瀏覽次數(shù)：62次

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西安莫吉娜儀器制造有限公司

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產(chǎn)品簡介

RTP快速升降溫退火爐的詳細(xì)介紹RTP快速升降溫退火爐MXG1200-150-SL-RTP開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備

詳細(xì)介紹

RTP快速升降溫退火爐 的詳細(xì)介紹

RTP快速升降溫退火爐 MXG1200-150-SL-RTP
開啟式RTP快速升降溫退火爐，是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備。本產(chǎn)品采用制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體上下兩半設(shè)計，可自由打開閉合，安全可靠，爐管外徑150mm，爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層，既能降低熱量損耗，還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗樣品放置于密封的石英管內(nèi)，內(nèi)部潔凈度高，可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產(chǎn)品采用紅外加熱，升溫速度快達(dá)30℃/S，爐體下部配有軌道，可左右移動至底部風(fēng)扇處，以達(dá)到快速冷卻的目的。
技術(shù)參數(shù)
項目	主要技術(shù)指標(biāo)	數(shù)據(jù)
規(guī)格型號	MXG1200-150-SL-RTP
溫度控制	溫度點(diǎn)	1200℃
	額定溫度	1100℃
	穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍	200-1050℃
	溫度測量精度	±0.2℃
	溫度控制重復(fù)性	±1℃
	溫度控制精確度	±1℃
	溫度均勻性	±2℃
	溫度狀態(tài)工藝時間	7-32 S（200-1050℃）
	升溫速率	30℃/S（可按需定制）
	降溫速率	1-200℃（將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?/td>
	溫度控制模式	智能模糊PID全閉環(huán)控制
觸摸屏	尺寸	7寸LCD 工控
物理指標(biāo)	功率	27 Kw
	額定電壓	AC380V，50/60Hz
	測溫元件型號	K型熱電偶
	石英管規(guī)格	Φ150*1500
	真空度	選配分子泵真空度可達(dá)6*10-3Pa
	抽氣端口尺寸	KF40或Φ6mm
	進(jìn)氣端口尺寸	Φ6mm
	冷卻方式	自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
	外形尺寸	深600寬1520高700
	設(shè)備重量	100Kg