工業(yè)凈化烘箱訂做-循環(huán)烘箱方案

適用于在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況

擁有多重超溫保護系統(tǒng)
1. 溫控器停止加熱，無加熱信號輸出。
2. 加熱系統(tǒng)電路的交流接觸器會跳掉，停止加熱管供電。
3. 擁有單套溫度監(jiān)控傳感器(獨立限溫保護器），監(jiān)控烘箱工作室溫度，當?shù)竭_警戒值，會強行關(guān)閉加熱系統(tǒng)。

擁有多重電器特點

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)


精準控時功能
采用LED數(shù)字型時間計時器，計時0~9999H/M/S。
設(shè)定溫度→設(shè)定保溫時間→時間到結(jié)束END提示-自動示切斷加熱-警報完成指示。

 1、溫度從10º至300º可任意調(diào)節(jié)選定工作溫度，并借助箱內(nèi)溫控系統(tǒng)自動恒溫。它適用與烘焙，工業(yè)烤箱熱處理或其他加熱用，也是實驗室常備儀器。
 2、工作溫度可由室溫起至很高溫度止，在此范圍內(nèi)可任意選定工作溫度，選定后可借箱內(nèi)自動控制系統(tǒng)使溫度恒溫。
 3、有電動鼓風機，促使室內(nèi)熱空氣機械對流，使室內(nèi)溫度更為均勻。
 4、恒溫烤箱結(jié)構(gòu)精密，控溫靈敏準確，操作簡單。
 5、超溫報警并自動切斷加熱電源。
 6、有因停電，死機狀態(tài)造成數(shù)據(jù)丟失而保護的參數(shù)記憶，來電恢復功能


箱內(nèi)溫度實時監(jiān)控系統(tǒng)
采用進口六通道溫度記錄儀，彩色屏幕實時精準顯示箱體內(nèi)部6點溫度及曲線，便于監(jiān)控箱內(nèi)溫度；自動存儲溫度數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)追溯，在線讀取，支持U盤導出功能。

 
 
 


　　一、 本公司提供的售后服務(wù)方式
 
　　1. 咨詢服務(wù)：用戶在使用過程中遇到任何問題，均可致電免費： 咨詢或發(fā)送郵件（1013957606）給我們。
 
　　2. 保修服務(wù)：保修期內(nèi)的產(chǎn)品，若出現(xiàn)質(zhì)量問題，由當?shù)厥酆蠓?wù)中心提供保修服務(wù);當?shù)責o售后服務(wù)中心的，由總公司派遣技術(shù)人員到現(xiàn)場維修。
 
　　3. 維修服務(wù)：維修期內(nèi)的產(chǎn)品,若出現(xiàn)質(zhì)量問題，*免費保修。
 
　　二、 用戶自購買日起，在正常使用情況下產(chǎn)品若出現(xiàn)質(zhì)量問題：
 
　　1. 一年內(nèi)免費保修，提供技術(shù)支持。
 
　　2. 部件損壞免費保修一年，超過一年的酌情收取工本費用。
 
　　注意：
 
　　1. 購買日以送貨單日期為準(送貨單遺失以生產(chǎn)日期為準)。
 
　　2. 保修服務(wù)只限于一般使用下有效：一切人為損壞(例如用戶自行拆機、進行不適當?shù)倪B接使用、接入不適當電壓的電源、未依說明書使用等)、自然災害等不可抗力、非經(jīng)本公司認可之維修和改裝等均不在免費保修范圍內(nèi);維修服務(wù)適當收費。