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GSL-1800X-ZF2 蒸發(fā)鍍膜儀

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更新時間：2023-01-11 09:52:37瀏覽次數(shù)：262次

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深圳市科晶智達科技有限公司

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產品簡介

簡要描述：GSL-1800X-ZF2蒸發(fā)鍍膜儀主要應用于大專院校、科研機構、企業(yè)實驗室及微小產品進行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓和生產

詳細介紹

功能特點

采用桌面小型一體化結構，將真空腔體、鍍膜電源及控制系統(tǒng)進行整合設計，體積與一臺A3打印機相仿。
采用電阻式雙蒸發(fā)源結構，可快速實現(xiàn)蒸發(fā)源的轉換。蒸發(fā)單元中裝有兩組蒸發(fā)電極可安裝不同的蒸發(fā)源，適應相應的鍍膜材料。
配有0.1%精度蒸發(fā)電源，并具有恒流輸出功能，對蒸發(fā)舟能起到很好的保護作用。
可選配石英晶體膜厚控制儀，在鍍膜過程中對鍍膜速率和膜層厚度進行控制。
可將采集到的鍍膜數(shù)據保存到U盤，便于用戶分析控制（選配）。
本機將所有功能設計成標準化模塊，根據用戶不同的需求對相應模塊進行組合，以達到the BEST 的鍍膜環(huán)境，并便于用戶維修與維護。
操作控制采用7英寸TFT顯示屏顯示操作界面，觸屏操作，實現(xiàn)全圖形化界面，易用易懂。

技術參數(shù)
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
工作臺	落地式，占地面積2m2以上
通風裝置	需要
電源	AC220V 1500W
蒸發(fā)電源功率	1000W 5V 200A
蒸發(fā)電極有效距離	44mm
樣品臺	Ø120mm（可旋轉）
膜厚測量精度	0.1Å或0.01Å（可選配高精度型）
外接真空機組	擴散泵機組（可選配國產110機組或進口機組）（不建議使用擴散泵）
極限真空度	>3.0×10-3torr（擴散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建議使用擴散泵）
工作真空度	5.0×10-3torr
真空接口	KF40
使用環(huán)境	溫度35℃，濕度<75%（相對濕度）不結露，海拔<1500m
尺寸	440mm×240mm×260mm（不包括真空機組）
重量	約47kg（不包括真空泵）