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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：廖勝眉查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-01-12 09:34:47瀏覽次數(shù)：380次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：405條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 輸入電源：220V 通用 功率：< 1KW

● 工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào)

● 單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào)

● 靶頭數(shù)目：3個(gè)

● 輸出電壓：1600V DC

● 樣品臺加熱溫度：500℃（選配）

濺射腔體

● 采用石英腔體，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H

● 密封：采用O形密封圈密封

樣品臺

● 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置

● 濺射距離：25 - 40毫米可調(diào)

● 可選購加熱型樣品臺（MAX溫度可到500℃）

● PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上）

控制面板

● 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏

● 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度

真空泵（選配）

● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）

● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）

進(jìn)氣口

一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

靶材

● 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm

● 可在本公司選購靶材,具體請點(diǎn)擊鏈接

外形尺寸

● 460mm×330mm×540mm (L×W×H)

● 凈重:50KG（不包括泵）

質(zhì)保期

一年保修，終身技術(shù)支持

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

各種靶材的參數(shù)（僅供參考）

對于濺射各種金屬靶材，需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（參考值，

詳情請點(diǎn)擊）

靶材種類真空度（Pa）濺射電流（mA）時(shí)間（s）濺射次數(shù)
Au31-3328-301001
Ag31281001
使用注意事項(xiàng)

● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)

或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)

● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜

● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）

● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈

● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請?jiān)跒R射前清潔基材表面

● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）

真空烘箱除去水分。

● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物

● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力

超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱

警告

● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。

● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。

● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶材




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