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行業(yè)產(chǎn)品

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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司


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SAL-3000PlusALD原子層沉積...

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SAL-3000Plus

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：Vicky查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2025-07-08 13:10:14瀏覽次數(shù)：6次

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產(chǎn)品簡介

SAL-3000PlusALD原子層沉積...

詳細(xì)介紹

AGUS-logog-GIF.gif

SAL-3000Plus ALD原子層沉積系統(tǒng)

SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子層沉積系統(tǒng)，可通過連接STR2000轉(zhuǎn)移單元，與退火設(shè)備SAN2000Plus，鍍膜設(shè)備，SVE2000Plus蒸鍍設(shè)備，SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控濺射設(shè)備搭配；

SAL3000pLUS.pngSAL-3000pus+轉(zhuǎn)移倉.png

SAL-3000Plus SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

性能及特點(diǎn)：

1.鍍膜質(zhì)量高

 ALD技術(shù)對比.gif

· 膜厚均勻性≤3% @ 100mm

· 對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性；

· 膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個(gè)原子層；

· 大面積制程可達(dá)到無孔洞薄膜（Pin Hole free）

· 的重復(fù)性及穩(wěn)定性

· 材料缺陷密度低

· 可成長非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度）

2.兩種成膜方向可選

 str-2000+interface.gif

· 可選擇將薄膜沉積在基底上表面和基底下表面，薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險(xiǎn)。

3. 可通過STR2000與其它Plus系列設(shè)備串聯(lián)

4.最多可搭載6路前驅(qū)體

5.優(yōu)異的真空性能：真空度≤5Pa

6.圖形用戶界面，觸控操作，簡單易用，可存儲30多種鍍膜方案

7.與SAL3000相比，寬度減少了40％

6. 可搭配多種配件：
干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅(qū)體加熱器等，退火設(shè)備等；

SAL3000pLUS配件.gif

關(guān)鍵詞：真空泵 臭氧發(fā)生器

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