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行業(yè)產(chǎn)品

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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司


RTA系列快速熱退火爐

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產(chǎn)品型號RTA

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2025-07-08 13:29:30瀏覽次數(shù)：9次

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產(chǎn)品簡介

RTA系列快速熱退火爐

詳細(xì)介紹

RTA系列快速熱退火爐

RTA系列可處理2~12 英寸（50~300mm）的樣品，10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu)，結(jié)合紅外加熱的高能量密度，近紅外的波長快速升溫特點(diǎn)，搭配高精度，快速響應(yīng)的溫控器進(jìn)行精確溫度控制。

RTA系統(tǒng)可滿足用戶對于工藝配方的控制（溫度控制，升降溫速率控制，氣氛及氣體流量控制等）。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式

應(yīng)用

· 離子注入后的活化退火

· 沉積氧化膜的退火

· 歐姆電極合金化

· PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

· 硅化物及自對準(zhǔn)硅化物的生成

· 發(fā)光元件，半導(dǎo)體激光基板的熱處理

· 超淺結(jié)的生成

· 鐵電電容器沉積

· 柵氧化膜的生成

特點(diǎn)：

· 升溫速率可達(dá)200℃/s

· 可搭配自動(dòng)傳樣機(jī)器人

· 可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 各個(gè)加熱區(qū)的燈管功率單獨(dú)可控，可以對不同尺寸的樣品實(shí)現(xiàn)均勻加熱

參數(shù)：

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