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RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)RTP-6

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2025-07-08 13:31:27瀏覽次數(shù)：7次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

詳細(xì)介紹

RTP-6經(jīng)濟(jì)型快速退火爐

RTP-6升溫速率可達(dá)80℃/s。

RTP-6采用拋物線形的黃金反射面，可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進(jìn)行快速的熱處理，適合熱處理工藝的研究與開(kāi)發(fā)?？捎糜诎雽?dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過(guò)程退火。

應(yīng)用：

1. 離子注入后的活化退火

2. 沉積氧化膜的退火

3. 歐姆電極合金化

4. PZT，SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

5. 硅化物及自對(duì)準(zhǔn)硅化物的生成

6. 發(fā)光元件，半導(dǎo)體激光基板的熱處理

7. 超淺結(jié)的生成

8. 鐵電電容器沉積

9. 柵氧化膜的生成

特點(diǎn)：
  • 快速熱處理
  • 腔體采用水冷，可進(jìn)行快速降溫
  • 真空置換氣氛后，可采用流動(dòng)氣氛進(jìn)行熱處理
  • 溫度程序設(shè)置和外部信號(hào)輸入可以通過(guò)腦輕松控制
  • 加熱過(guò)程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
  • 石英保護(hù)板（可選）可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
  • 配備了各種安全措施
  • 九個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)可實(shí)現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制

組成：

1. 紅外金面反射爐

2. 加熱腔

3. 可編程溫控器

4. 9個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)

5. 跨度變換單元

6. 氣體管路系統(tǒng)

7. 熱氣排出系統(tǒng)

8. 爐體框架，開(kāi)關(guān)板

9. 高溫計(jì)（可選）

10. 水冷機(jī)（可選）

11. 真空泵（可選）

參數(shù)：

關(guān)鍵詞：真空泵
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