簡單的說：功率大，極限真空高（壓力極?。▔毫υ叫?，代表極限真空度越高），有的甚至可以做到10負(fù)幾次方Pa,非常接近理論真空了。抽氣速率大，通常以"L/S（升/秒）"作為單位。工業(yè)上有非常廣泛的應(yīng)用。
缺點(diǎn)：價(jià)格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護(hù)，不易移動等。有的大型真空泵必須使用真空泵油或潤滑油，工作中會產(chǎn)生油霧，對工作介質(zhì)有污染……以上缺點(diǎn)在某些場合特別明顯，如大型真空泵雖然真空度高，但在低真空場合反而浪費(fèi)，像實(shí)驗(yàn)室，只是需要泵對少量氣體進(jìn)行氣體采樣、氣體分析、氣體循環(huán)、真空吸附、氣體轉(zhuǎn)移、增壓、間接吸水、排水等時(shí)，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺點(diǎn)。
這個時(shí)候用小型真空泵，粗真空（真空度較低）就可以滿足，而且體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護(hù)、可24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，還允許介質(zhì)富含水汽。zui重要的是，因?yàn)槭歉墒?、無油的，不需要真空泵油或潤滑油，所以不會污染工作介質(zhì)，不會干擾對介質(zhì)的分析等等。而且價(jià)格相對便宜得多。
現(xiàn)在，隨著小型真空泵在各個領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用以及真空技術(shù)的提高，小型真空泵的性能也不斷提升，比如有一款高負(fù)壓小型真空泵成都為誠電子機(jī)械的極限真空度甚至可以達(dá)到，即負(fù)壓約-0.09Mpa;抽氣速率zui大可達(dá)：28L/Min;還有能同時(shí)抽氣、打氣兩用的小型真空泵，負(fù)壓（-50KPa），zui大輸出正壓（相對大氣壓）100KPa（約1公斤）。
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