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雙頻激光干涉儀

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更新時間：2017-10-02 04:56:01瀏覽次數：495次

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上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司

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產品簡介

定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等，通過配合使用球桿儀，還能夠測量數控機床的回轉量，從而實現定位、校準、控制和補償。

詳細介紹

產品名稱：雙頻激光干涉儀

產品型號：ZLM700

產品產地：德國

制造商：德國耶拿爾JENAer公司

詳細介紹:

在德國，耶拿地區(qū)以生產蔡司光學產品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產品中，由于具有*的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產的是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻。

其主要功能包括：定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等，通過配合使用球桿儀，還能夠測量數控機床的回轉量，從而實現定位、校準、控制和補償。

ZLM700主要用于單軸系統的校準和測量，廣泛應用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統控制。德國耶拿爾具有以下性能優(yōu)勢：

l 真正意義上的，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“”的區(qū)別。*精度更好、性能更穩(wěn)定。

l 全部部件皆在德國生產制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。

l 測量系統采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。

l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內為±0.002ppm，在產品壽命內可達±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統精度更高，可達±0.4ppm。

l 計算機輔助光路調整，調整結果更準確。

l 采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。

l 被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數據處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。

l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。

l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型，zui多可實現六軸聯動。

工作原理

型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現干擾誤差，信號延時時間極短。

采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸到計算機卡槽連接的電子計數器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700特別適用于惡劣的生產環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。

技術參數

型號：ZLM700	使用高性能數據處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時2x10^-9（±0.002ppm）壽命內2x10^-8（±0.02ppm）
系統精度（0-40℃時）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數：	1
線性測量距離：	40m，可擴展為120m
角度測量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：	20m行程
直線度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	無限制
zui高采樣頻率：	內部1MHz，外部40MHz
預熱時間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：	±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測量精度：	±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測量精度：	±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測量精度：	±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：	±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數據接口：	積分信號 32 Bit （實時時間） Dt » 20 ns
數據分析標準：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數對比

	耶拿爾干涉儀	歐洲某品牌
	型M700	型號：XX-XX
工作原理:	雙頻激光干涉原理（外差式, 頻差640MHz）	單頻零差式激光干涉原理，采用遠程干涉測量法
波長:	632.991nm	632.991nm
激光輸出功率:	<1mW Class II （可選 Class 3R）	<1mW Class II
1小時內穩(wěn)頻精度:	0.002ppm	0.04ppm
產品壽命內穩(wěn)頻精度:	0.02ppm	0.1ppm/年
壽命:	約20000小時	約8000小時
穩(wěn)定工藝:	溫度穩(wěn)定法（對兩種模式進行比較，外差式）	零差式（1種模式）
激光束直徑:	6mm （可選3.2mm）	6mm
每束激光可測量的軸數:	1-6	1
測量范圍
距離 :	0...40m，可選120m	0...40m，可選80m
角度:	± 15°，軸線范圍20m	± 5° ，軸線范圍15m
直線度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
垂直度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
分辨率
距離（使用角隅反射鏡） :	0.6 nm，速度v= 4m/s	1nm，速度v=4m/s
	0.3 nm，速度v= 2m/s
	0.1 nm，速度v= 1m/s
角度:	0.003角秒（0.015µrad）	0.1µrad
直線度（短距離）:	7nm	10nm
垂直度（短距離）:	7nm	10nm
直線度（長距離）:	36nm	100nm
垂直度（長距離）:	36nm	100nm
精度
距離:	+/-0.4ppm	+/-0.5ppm
角度:	+/-0.1ppm	+/-0.6%實測值
直線度（短距離）:	+/-0.5%實測值	+/-0.5%實測值
垂直度（短距離）:	+/-0.5%實測值	+/-0.5%實測值
直線度（長距離）:	+/-2.5%實測值	+/-2.5%實測值
垂直度（長距離）:	+/-2.5%實測值	+/-2.5%實測值
光學鏡（直線度用）:	差分干涉鏡	無（僅使用一個Wollaston棱鏡）
系統的線性度:	非常好（這是因為使用了差分干涉鏡）	不明（取決于Wollaston棱鏡質量）
可測量到的偏差范圍
直線度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
垂直度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
輔助調節(jié):	計算機輔助調節(jié)	小孔
接口:	PCI	USB
	cPCI （PXI）
	USB
	AquadB （積分信號）
	32bit實時
采樣速度:	0.001Hz - 1MHz （可調）	50 kHz