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氣浮導(dǎo)軌基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。通常與直線電機(jī)，編碼器反饋，控制驅(qū)動(dòng)器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)常用導(dǎo)軌有機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌等，機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的應(yīng)用己經(jīng)有好多年，機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米級(jí)，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003。機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是滾動(dòng)摩擦阻力小，沒(méi)有滑動(dòng)導(dǎo)軌的爬行、浮動(dòng)現(xiàn)象，但機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的摩擦大、抗震性差、運(yùn)動(dòng)不平穩(wěn)、壽命低，在應(yīng)用方面有所欠缺。氣浮導(dǎo)軌相對(duì)于普通滾動(dòng)導(dǎo)軌有著如下的優(yōu)點(diǎn)：

（1）導(dǎo)軌面間是氣體潤(rùn)滑，其摩擦系數(shù)極小（約為0.0005左右），故驅(qū)動(dòng)功率可大大降低；

（2）因系非接觸性摩擦，故導(dǎo)軌磨損極小，理論上使用壽命是無(wú)限的，能長(zhǎng)期保持制造精度，減少了維修工作量；

（3）氣膜具有誤差均化作用，可提高導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)精度；

（4）氣膜厚度幾乎不受速度的影響，即使在極低速時(shí)也不會(huì)產(chǎn)生爬行，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)；

（5）幾乎不產(chǎn)生熱量，不會(huì)發(fā)生粘度變化，無(wú)需添加冷卻措施。

瑞邦精控有多年的精密機(jī)械設(shè)計(jì)、加工及裝配等從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，從設(shè)計(jì)上對(duì)高壓氣體的流動(dòng)規(guī)律、壓力分布、轉(zhuǎn)臺(tái)精度分離方法等進(jìn)行了充分研究，研究其影響因素-高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間。在氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)取得了關(guān)鍵技術(shù)突破，為高精度零件的加工與檢測(cè)、超精密加工工具的研制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。軸向和徑向誤差在100nm以內(nèi)，雙向重復(fù)定位精度1角秒內(nèi)。