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上海譜騫光學(xué)生產(chǎn)研發(fā)的明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測儀器之一.

具體技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類 別 放大倍數(shù) 視場(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類 型 放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑NA 工作距離（mm）
長工作距離平場消色差物鏡 5X(明場) 0.12 18.3
10X(明暗場) 0.25 8.9
20X(明暗場) 0.40 8.7
40X(明暗場) 0.60 3.7
80X(明場) 0.80 0.96
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-5000X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺：二層機(jī)械移動式(配有快速移動裝置) 尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
9.防霉：的防霉系統(tǒng)

10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭

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