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利用管式氣氛爐快速升溫，制備硒化鋅納米晶薄膜的辦法

來源：上海升利測試儀器有限公司   2010年11月22日 17:17   420

（技術(shù)中心-管式氣氛爐）

利用管式氣氛爐快速升溫制備硒化鋅納米晶薄膜的方法，取單質(zhì)硒粉和單質(zhì)鋅粉按１∶１的摩爾比混合并轉(zhuǎn)入高能球磨罐中，在氮氣或氬氣保護(hù)下球磨，使ＺｎＳｅ粉末的尺度為５～２０納米；將ＺｎＳｅ納米粉放入石英舟一端的凹槽中，硅片或石英基片放在石英舟的另一側(cè)；再將石英舟置于長度大于管式爐爐體長度１．５倍以上的石英管中，開啟抽氣機(jī)排氧并充入氬氣，重復(fù)三次；將石英管冷端推入管式氣氛爐中，要求５分鐘內(nèi)將石英管內(nèi)放置的ＺｎＳｅ納米粉末原料升溫到８００℃～１０００℃，使硅片或石英基片的溫度為１６０℃－２４０℃即可在硅片或石英片上得到硒化鋅納米晶薄膜。本發(fā)明真空度要求低，薄膜厚度和薄膜納米晶尺度均可通過工藝條件控制。

（技術(shù)中心-氣氛爐）

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