ZKY-2000真空度測(cè)試儀
主要特點(diǎn)
★基于電離電荷的采樣技術(shù)
ZKY-2000型真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
★漏電電流的處理
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
★內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí)，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測(cè)量，對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù)，通過數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入ZKY-2000系列產(chǎn)品。因此,ZKY-2000系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。
這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。
關(guān)鍵詞：ZKY-2000真空度測(cè)試儀，，
技術(shù)參數(shù)
▲測(cè)量范圍： 1*10-5～1*10-1pa
▲測(cè)量誤差： l*l0-4～1*l0-1pa中誤差<5%
▲測(cè)量分辨率： 10-5pa
▲允許環(huán)溫： O℃～55℃
▲空氣濕度： <85%RH
▲電 源： AC220士10%
▲外型尺寸： 430X300X235mm
測(cè)試原理：ZKD-3型真空度測(cè)試儀
將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將新型電磁線圈環(huán)繞于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)（管型），由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后，就可以通過查詢管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。這一過程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。
