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GM系列高真空隔膜閥

　　高真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上用來截止或接通真空系統(tǒng)。閥門適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣性。

性能參數(shù)：

• 適用范圍：10⁵～1.3x10^-4Pa
• 漏氣率：6.7x10^-4Pa.L/S
• 介質(zhì)溫度：
• 隔膜為D腈橡膠時－25℃～+80℃
• 隔膜為氟橡膠時－30℃～＋150℃

性能參數(shù)

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