進(jìn)口超高純減壓器
美國(guó)力沃閥門(mén)()有限公司廣州總代理-美國(guó)LEO
超高純減壓器簡(jiǎn)介:
適用于超高純凈氣體應(yīng)用,采用內(nèi)部無(wú)螺紋、非焊接膜片結(jié)構(gòu)。膜片和閥體的密封產(chǎn)用了硬密封的設(shè)計(jì),降低泄漏率,同時(shí)提高了安全性和使用壽命。
進(jìn)口超高純減壓器
結(jié)構(gòu)特點(diǎn) Features
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板安裝和后座安裝
壓力表標(biāo)準(zhǔn)連接: 1/4” FSR(M)
可選:1/4” FSR (F)
內(nèi)部電解拋光
高清潔的組裝和包裝將適用于高純潔度的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
使用壽命長(zhǎng)
通過(guò)氦氣測(cè)試
材質(zhì) Materials
母體:316L
閥座:PCTFE
膜片:316
上蓋:316
功能特性 Functional Performance
流量:Cv=0.054
母體泄漏率:2x10 -8 atm cc/sec He
閥座泄漏率:4x10 -8 atm cc/sec He
設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力:zui大額定壓力的 150%
設(shè)計(jì)爆破壓力:zui大額定壓力的 400%
工作條件 Operating Conditions
zui大的入口壓力:300 psi (20 bar)
出口壓力:0- 30 psi (2 bar)
溫度: -18℃~60℃(0℉~140℉)
流道表面 Surface Finish
標(biāo)準(zhǔn):Ra 20μin
可選:Ra 10μin
內(nèi)部容積 Internal Volume
9.3 cc