德國(guó)aixACCT激光干涉儀
品牌介紹：
aixACCT是您在材料開(kāi)發(fā)和設(shè)備鑒定方面進(jìn)行電氣測(cè)試的合作伙伴，并通過(guò)提供新的測(cè)試概念和系統(tǒng)解決方案縮短了客戶新產(chǎn)品的上市時(shí)間。產(chǎn)品通過(guò)不斷創(chuàng)新，涵蓋從材料研究到原型測(cè)試以及生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量保證的整個(gè)范圍。多年來(lái)積累了豐富的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)以及技術(shù)知識(shí)，通過(guò)不斷地研究發(fā)展，為客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。
產(chǎn)品范圍：
德國(guó)aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執(zhí)行器。
主要型號(hào)：
TF 3000、TF 2000 E、TF 1000
相關(guān)產(chǎn)品介紹：
雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。
用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度（x切割石英），max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測(cè)量速度提高了100倍。這使得*比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類(lèi)測(cè)量的主要障礙。
測(cè)量:
-機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。
-壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機(jī)電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）設(shè)備的壓電和電氣可靠性測(cè)試。該系統(tǒng)的出色分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2％，可大規(guī)模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試
-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V（可選）
-壓電d 33系數(shù)：
偏壓 ：（1 mHz至1 Hz）
100 mV至10 V
至25 V（可選）
小信號(hào)：（1 kHz至10 kHz）
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33：類(lèi)似于d 33
-C（V）測(cè)量:
偏壓 ：（1 mHz至1 Hz）
100 mV至10 V
至25 V（可選）
小信號(hào)：（1 kHz至10 kHz）
100 mV至10 V
