NS系列臺階厚度測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
工作原理
當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。
針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景，NS200臺階儀提供如下便捷功能：
1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位；
2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實現(xiàn)一鍵多點位測量；
3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；
NS系列臺階厚度測量儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
典型應(yīng)用
產(chǎn)品特性
1.出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器：（1-50）mg可調(diào)
測力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制，實現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動XY載物臺， Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊，為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
部分技術(shù)參數(shù)
| 型號 | NS200 |
| 測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 |
| 平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
| 樣品R-θ載物臺 | 電動，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
| 單次掃描長度 | 55mm |
| 樣品厚度 | 50mm |
| 載物臺晶圓尺寸 | 150mm（6吋）,200mm（8吋） |
| 尺寸（L×W×H）mm | 640*626*534 |
| 重量 | 40kg |
| 儀器電源 | 100-240 VAC，50/60 Hz，200W |
使用環(huán)境
相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH
溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）
音頻噪音：≤80dB
空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
