Automegasamdri-915B, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀
特點(diǎn)：
6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀；
潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；
通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；
所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；
可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；
每個(gè)操作模式LED顯示，一目了然;
集成自動(dòng)控溫；
內(nèi)置圓盤裂片保證安全；
可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；
靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；
0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室；
內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；
擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng)，使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C；
標(biāo)配SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；
規(guī)格：
外部尺寸：寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長(zhǎng)25.0” (63.5cm)；
占地尺寸：寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm)；
樣品室尺寸：內(nèi)徑6.50” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;
溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；
LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門來控制；
120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
標(biāo)準(zhǔn)配件：
高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng)；
外部LCO2過濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；
SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳，降低排氣噪音；
防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；
內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門
樣品室O型圈3個(gè)，樣品室照明燈2個(gè)，5A保險(xiǎn)絲2個(gè)；
4個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;
直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容；
流量計(jì)，可精確控制BLEED的排氣速率；
用戶手冊(cè)；
所有部件一年質(zhì)保。
