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Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

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公司名稱埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)
更新時(shí)間2025/3/6 10:05:58
訪問(wèn)次數(shù)40

產(chǎn)品標(biāo)簽:

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Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測(cè)儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動(dòng)裝置。

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠?yàn)樵S多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達(dá) 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計(jì)，卻是一個(gè)完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測(cè)儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動(dòng)裝置。

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS能夠拓展支持額外的獨(dú)立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護(hù)簡(jiǎn)單，不需求消耗品或預(yù)防性維護(hù)。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加**，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測(cè)儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。