Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS
ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求*高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機臺聯(lián)動，插入即可使用。產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷售中心，上海辦，辦事處）
該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
- 高純度水冷臭氧發(fā)生器，可生產(chǎn)濃度高達(dá)350 g/Nm3的臭氧
- 的高濃度監(jiān)測儀
- 使用質(zhì)量流量控制器監(jiān)測和控制臭氧和進料氣
- 完整的**聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
- 支持*多四個獨立的伺服控制回路
- 19英寸機架固定，頂端配有排氣系統(tǒng)，底端配有輪子
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS規(guī)格
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS - 氧氣輸送系統(tǒng)具有多功能性，且安裝使用簡單，已經(jīng)廣泛應(yīng)用在需求不同濃度、流量的薄片處理應(yīng)用中，例如：
- 半導(dǎo)體
- 化學(xué)氣相沉積(CVD)
- 原子層沉積(ALD)
- 氧化物生長
- 表面處理
- 粒子清潔
- 光刻膠去除
- 灰化
