Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計的,可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。產(chǎn)品:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀,Fei (維修中心,代表處,總代理,分公司,子公司,售后中心,銷售中心,上海辦,辦事處)

OG-5000系列設(shè)計緊湊,使用水冷系統(tǒng),能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經(jīng)過驗證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。
Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器
- 高純度臭氧
- 高臭氧濃度
- 價格低
- 無消耗品
- 設(shè)計緊湊,模塊化
- 經(jīng)過驗證的技術(shù)
Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器OG-5000
- Teledyne API水冷臭氧發(fā)生器應(yīng)用
- 半導(dǎo)體
- 化學(xué)氣相沉積 (CVD)
- 原子層沉積 (ALD)
- 氧化物生長
- 表面處理
- 粒子清潔
- 光刻膠去除
- 灰化
- 其他
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