Malema互連聯(lián)鎖裝置旁通泄漏檢測(cè)系統(tǒng)MIID-1000
行業(yè)：半導(dǎo)體

Malema互連聯(lián)鎖裝置旁通泄漏檢測(cè)系統(tǒng)MIID-1000是專為化學(xué)機(jī)械平面化（CMP）工具而設(shè)計(jì)的，已獲得**，專門用于防止液體回流和內(nèi)部旁通泄漏。這種能力是通過(guò)以協(xié)調(diào)方式運(yùn)行的氣動(dòng)閥歧管創(chuàng)建的，以確保CMP液體供應(yīng)在使用前或?qū)嶋HCMP過(guò)程中不會(huì)被污染。MIID-1000配備了改裝套件，可安裝到現(xiàn)有的CMP工具中。

Malema互連聯(lián)鎖裝置旁通泄漏檢測(cè)系統(tǒng)MIID-1000概述、規(guī)格和文件
Malema™互連聯(lián)鎖裝置（MIID-1000）旁通泄漏檢測(cè)和預(yù)防系統(tǒng)為實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)廠房和晶圓制造設(shè)施中的散裝化學(xué)品和高純水服務(wù)提供回流保護(hù)。

Malema互連聯(lián)鎖裝置旁通泄漏檢測(cè)系統(tǒng)MIID-1000特征
所有接觸液體的部件均采用高純度PTFE和PFA結(jié)構(gòu)。
PFA和PVDF的非潤(rùn)濕表面
一體化設(shè)計(jì)，安裝緊湊，節(jié)省空間。
設(shè)計(jì)用于*小化水頭損失
現(xiàn)場(chǎng)可配置的火炬連接[入口可配置為?“或3/8”火炬接頭]，簡(jiǎn)化了改裝安裝，減少了庫(kù)存
閥門部件在去離子水中測(cè)試超過(guò)10,000,000次（在卡博特SS-12中超過(guò)1,050,000次）。
閥門Cv=0.8
內(nèi)置泄漏檢測(cè)和監(jiān)控
內(nèi)置光學(xué)閥位置傳感

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