PECVD石墨舟冷卻房
基本功能
① 能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片定位。
② 經(jīng)過濾的潔凈空氣有送風(fēng)機(jī)分散吹向石墨舟,保證石墨舟快速冷卻。
技術(shù)要求
① 整個冷卻房采用不銹鋼制作,保證整個設(shè)備堅(jiān)固可靠。
② 進(jìn)入吹風(fēng)的空氣必須經(jīng)中效過濾網(wǎng)過濾
③ 吹風(fēng)機(jī)兩臺,左右各一臺,風(fēng)量1000M/h。
④ 頂部裝有吸風(fēng)罩和手動調(diào)節(jié)閥,可調(diào)節(jié)風(fēng)量和風(fēng)速。
⑤ 為達(dá)到節(jié)電效果,必須安裝自控裝置,當(dāng)小車進(jìn)入冷卻房后自動啟動,冷卻到規(guī)定時間或小車離開冷卻房后都能自動停止。
⑥ 為防止被小車撞擊后移動,減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。