PECVD石墨舟裝載房

基本功能

① 能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位。
② 能夠使用石墨舟承載車在里面傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度。
③ 配置經(jīng)中效、高效過濾器過濾后的凈化空氣根據(jù)要求定時向機內(nèi)循環(huán)吹風(fēng)。

技術(shù)要求

① 整個冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個設(shè)備堅固可靠。
② 風(fēng)機兩臺，風(fēng)量1000m3/hX2。
③ 配置中效及高效過濾器，確保吹出空氣達到凈化要求。
④ 頂部裝有吸風(fēng)罩和手動調(diào)節(jié)閥，可調(diào)節(jié)風(fēng)量和風(fēng)速。
⑤ 為達到節(jié)電效果，必須安裝自控裝置，當(dāng)小車進入裝載房后自動啟動吹風(fēng)，冷卻到規(guī)定時間或小車離開也能自動仃止吹風(fēng)。
⑥ 為防止被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。

產(chǎn)品展示