標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 模型 | 8500 MC / MM | 8550 MC / MM | |
|---|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM （任意選擇） | 30SLM~100SLM （任意選擇） | |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法（* 1） | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 控制范圍（* 1） | 2. 100％（F.S.） | 5. 100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度（* 1） | 在2秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | 在3秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | |
| 精度 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作壓差范圍 （*1） | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | |||
| 工作壓力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼 | ||
| 閥座FKM（選件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | |||
| 模型 | 8500 MC / MM | 8550 MC / MM | |
|---|---|---|---|
| 電氣連接 | Dsub半間距20針Hirose DX10M.20S | ||
| 流量設(shè)定 輸入信號(hào)（* 1） | 0.5VDC（輸入阻抗100kΩ以上）或4.20mA選擇 | ||
| 流量輸出信號(hào) | 選擇0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ或更高）或4~20 mA（外部負(fù)載電阻300Ω或更低） | ||
| 通訊 | RS232C（3線式）或RS485（3線式）選擇 | ||
| 其他功能 | 瞬時(shí)流量·集成流量切換顯示功能（7段LED 4位數(shù) 顯示精度±1％總顯示0000.9999 MAX）， 報(bào)警輸出（NPN開路集電極輸出2點(diǎn)*大額定DC 35 V 50 mA），模式設(shè)定（5種模式）功能 | ||
| 所需電源 | 24 VDC±10％（5％紋波）電流消耗300mA或更低 | ||
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)Rc1 / 4等 選項(xiàng)1 / 4F900（9 / 16-18UNF），1/8 F 900,1 / 4 UJR | 標(biāo)準(zhǔn)Rc 3/8等 備選案文3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF）， 1 / 2F900,3 / 8 UJR | |
| 重量 | 約1200g | 約1500g | |
（* 1）僅適用于質(zhì)量流量控制器類型。
（* 2）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級(jí)側(cè)小于300kPa，次級(jí)側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請(qǐng)另行咨詢。
尺寸圖
