尺寸圖
電纜連接
警告
自2000年3月以來，3810系列的引腳分配已經(jīng)改變。
與舊類型不兼容，請檢查
標準規(guī)格
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~2SLM（可選） | 3SLM~50SLM（可選） |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 準確性 | ±3％F.S.（25°C） | ±5％F.S.（25°C） |
| 溫度系數(shù) | ±0.15％F.S. /°C（15~35°C） | ±0.2％F.S. /°C（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5％F.S. | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 主體SUS303，PTFE | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | 171826-5（由AMP制造） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | ±15 VDC±5％ 60 mA | |
| 配件（車身尺寸） | Rc1 / 4 | |
| 重量 | 約250g | 約350g |
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。
接線示例
