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日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱埃登威自動化系統(tǒng)設備(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時間2025/3/12 12:25:20
  • 訪問次數(shù)20
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日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES**金屬密封質(zhì)量流量控制器MODEL 5100 S ERIES5100系列是-款質(zhì)量流量控制器, 它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屆密封的基本性能,以及半導體工藝氣體控制所需的+1 %精度。板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辦率,可以處理1 sccm (N2) 的微流量。通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器
日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES 產(chǎn)品信息

日本KOFLOC小島-**金屬密封質(zhì)量流量控制器 MODEL 5100 SERIES

**金屬密封質(zhì)量流量控制器

MODEL 5100 S ERIES

5100系列是-款質(zhì)量流量控制器, 它實現(xiàn)了無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屆密封的基本性能,以及半導體工藝

氣體控制所需的+1 %精度。

板載傳感器的響應能力。它具有出色的分辦率,可以處理1 sccm (N2) 的微流量。

  • 通過使用溫度跟蹤型電流差檢測流量傳感器實現(xiàn)高精度,高速傳感器響應

  • 采用電磁鐵電磁閥常閉閥

  • 由于無焊接結(jié)構(gòu)(VCR規(guī)格),金屬密封,泄漏低

  • 采用隔膜閥,減少死體積

  • 面對面,體型和接線連接與其他公司的更換兼容

圖片關鍵詞

標準規(guī)格

流量范圍
(N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM)
1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
傳感器方式熱繞組傳感器
閥門方式比例螺線管閥門(未通電時關閉)
控制范圍2~100%(F.S.)
響應速度1秒內(nèi)(±2%F.S.內(nèi))
準確性±1%F.S.
溫度系數(shù)0.1%F.S./°C(15~35°C)
再現(xiàn)性±0.2%F.S.
操作壓差范圍F.S.≤5SLM50. 300kPa
F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa
選項:低壓差規(guī)格(LP)可根據(jù)條件制造
可工作壓力300kPa(G)以下
耐壓980kPa(G)
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度0~50℃
允許環(huán)境濕度10~90%RH(無結(jié)露)
氣體接觸材料車身SUS316L
隔膜SUS316L
閥座PTFE
密封材料SUS316L,Ni,Au
選項:SUS密封(SU),內(nèi)部磨削規(guī)格(KP)
電氣連接Dsub 9針KFC 標準(符合SEMI標準)
流量設定
輸入信號
0~5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)
流量輸出信號0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
所需電源+15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)200 mA
配件(車身尺寸)標準1/4 VCR等效選項1/4 SWL
重量約1000g


警告

流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外,生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa,次級側(cè)向大氣開放。
有關壓力條件,請另行咨詢。

接線連接

Dsub 9針KFC標準引腳排列
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