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MKP半導體質量流量控制器

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱成都四洋科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號ARI7000
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2025/6/24 11:47:54
  • 訪問次數(shù)5
產品標簽:

質量流量控制器

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成都四洋科技有限公司是FSSC成員之一,位于中國成都經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)。主要涉足低溫、電子、真空行業(yè)。公司擁有一批技術團隊,是集生產、貿易、維修服務為一體的高科技公司。公司核心技術人員依托美國Chart(原中國國企“金鳳“)及航空、核工業(yè)物理所技術優(yōu)勢,致力于低溫儲存技術、真空絕熱技術、深冷處理技術的研究、開發(fā)及系統(tǒng)集成,提供特殊低溫應用領域的技術方案、產品設計及專用低溫設備研發(fā);代理業(yè)務包括銷售國外產品:美國AEG調功器、美國AE(Advanced Energy)公司電源、美國MKS(萬機)真空計及流量計、德國普發(fā)Pfeiffer真空設備及儀器、美國Brooks Automation CTI低溫冷泵、GP真空計、瑞士英??礽nficon、Brooks instrument流量計、VAT真空閥門等產品。




 

 

MKS、GP、Inficon、Pfeiffer、Adixen、Busch 、CVI低溫泵、VAT真空閥門、Swagelok真空配件、Line Tech 流量計等
隨著半導體工藝的精細化為了克服 Capacitor的體積變小,相應地減少容量高介電常數(shù)的High-K物質用于薄膜。用于半導體進程的'液體材料'的為了使絕緣膜更薄、更均勻地沉積,必須準確控制液體與燈泡體的流量。MKP半導體質量流量控制器ARI7000系列是一個精確質量流量的液體和前體系統(tǒng)提供給大家在半導體優(yōu)秀工藝中性能保障。
MKP半導體質量流量控制器 產品信息

ARI7000系列也是多種型號供不同參數(shù)選擇。滿足更多使用者的需求。

特點

液體 & 前體用 MFC

快速響應時間: <3Sec

高精度: ≤1% of F.S

高重復性: ≤±1% of F.S

耐腐蝕性強: 電拋光<0.1um RA

通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A

技術規(guī)格

型號ARI 7000 
流量范圍(g/min , IPA 等效)0.5 to 1g/min
精確度≤±1% of F.S.
響應時間≤3秒(≤SEMI標準)
重復時間
≤±1%滿量程
溫度系數(shù)±0.2%滿量程/℃
表面潤濕材料
STS316L & Electro-Polished(<0.1um RA), PTFE
泄漏完整性
≤5X10-12Pa?m3/S(He)
工作溫度范圍
5 to 55 ℃ (Recommended : 25~50?C)
入口壓力
500 kPa(G)
工作壓差
≥200 kPa(D)
通訊
D-Net
電源/功耗
+14~30VDC, 3.5W max


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