ARI7000系列也是多種型號供不同參數(shù)選擇。滿足更多使用者的需求。
特點
成都四洋科技有限公司是FSSC成員之一,位于中國成都經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)。主要涉足低溫、電子、真空行業(yè)。公司擁有一批技術團隊,是集生產、貿易、維修服務為一體的高科技公司。公司核心技術人員依托美國Chart(原中國國企“金鳳“)及航空、核工業(yè)物理所技術優(yōu)勢,致力于低溫儲存技術、真空絕熱技術、深冷處理技術的研究、開發(fā)及系統(tǒng)集成,提供特殊低溫應用領域的技術方案、產品設計及專用低溫設備研發(fā);代理業(yè)務包括銷售國外產品:美國AEG調功器、美國AE(Advanced Energy)公司電源、美國MKS(萬機)真空計及流量計、德國普發(fā)Pfeiffer真空設備及儀器、美國Brooks Automation CTI低溫冷泵、GP真空計、瑞士英??礽nficon、Brooks instrument流量計、VAT真空閥門等產品。
ARI7000系列也是多種型號供不同參數(shù)選擇。滿足更多使用者的需求。
特點
液體 & 前體用 MFC
快速響應時間: <3Sec
高精度: ≤1% of F.S
高重復性: ≤±1% of F.S
耐腐蝕性強: 電拋光<0.1um RA
通訊: D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A
技術規(guī)格
型號 | ARI 7000 | ||||
流量范圍(g/min , IPA 等效) | 0.5 to 1g/min | ||||
精確度 | ≤±1% of F.S. | ||||
響應時間 | ≤3秒(≤SEMI標準) | ||||
重復時間 | ≤±1%滿量程 | ||||
溫度系數(shù) | ±0.2%滿量程/℃ | ||||
表面潤濕材料 | STS316L & Electro-Polished(<0.1um RA), PTFE | ||||
泄漏完整性 | ≤5X10-12Pa?m3/S(He) | ||||
工作溫度范圍 | 5 to 55 ℃ (Recommended : 25~50?C) | ||||
入口壓力 | 500 kPa(G) | ||||
工作壓差 | ≥200 kPa(D) | ||||
通訊 | D-Net | ||||
電源/功耗 | +14~30VDC, 3.5W max |
*您想獲取產品的資料:
個人信息: