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RTA系列快速熱退火爐

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)RTA
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/7/8 13:29:30
  • 訪問次數(shù)3
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食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)采購(gòu)部電話:13777369734

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凱戈納斯儀器商貿(mào)(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的,是一家朝氣蓬勃的儀器商貿(mào)公司,在市場(chǎng) 上享有良好的聲譽(yù)。公司成立近二十年來,致力于成為熱物性設(shè)備的系統(tǒng)供應(yīng)商,主要業(yè)務(wù)是在中國(guó)和一些鄰國(guó)開發(fā)、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數(shù)分析儀。目前也代理日本ai-phase公司測(cè)試薄膜材料熱擴(kuò)散系數(shù)的設(shè)備,以及加拿大Thermtest公司所的傳統(tǒng)平板熱流計(jì)法、專線法和熱帶法導(dǎo)熱儀,等世界上等的*熱物性分析儀器。多年來,公司也是以色列Nanonics公司近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡的中國(guó)國(guó)內(nèi)-家供應(yīng)商。近,我們?cè)黾恿巳毡続dvance Riko公司紅外金面反射爐、日本SUGA公司SPS (放電等離子燒結(jié)爐)設(shè)備的國(guó)內(nèi)-家代理。
導(dǎo)熱儀
RTA系列快速熱退火爐
RTA系列快速熱退火爐 產(chǎn)品信息

RTA系列快速熱退火爐

RTA系列可處理2~12 英寸(50~300mm)的樣品,10s內(nèi)即可到設(shè)置的退火溫度。

該爐體采用水冷壁的結(jié)構(gòu),結(jié)合紅外加熱的高能量密度,近紅外的波長(zhǎng)快速升溫特點(diǎn),搭配高精度,快速響應(yīng)的溫控器進(jìn)行精確溫度控制。

RTA系統(tǒng)可滿足用戶對(duì)于工藝配方的控制(溫度控制,升降溫速率控制,氣氛及氣體流量控制等)。RTA系統(tǒng)有助于找到的熱處理方式

應(yīng)用

· 離子注入后的活化退火

· 沉積氧化膜的退火

· 歐姆電極合金化

· PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

· 硅化物及自對(duì)準(zhǔn)硅化物的生成

· 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

· 超淺結(jié)的生成

· 鐵電電容器沉積

· 柵氧化膜的生成

特點(diǎn):

· 升溫速率可達(dá)200℃/s

· 可搭配自動(dòng)傳樣機(jī)器人

· 可連接半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 各個(gè)加熱區(qū)的燈管功率單獨(dú)可控,可以對(duì)不同尺寸的樣品實(shí)現(xiàn)均勻加熱

參數(shù):

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