無(wú)塵潔凈氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無(wú)自凈功能,故內(nèi)部容易積聚大量灰塵