單室充氮?dú)庹婵瞻b機(jī)主要由上工作室、下工作平臺(tái)、機(jī)架、電器系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣調(diào)裝置幾大部分組成，工作過(guò)程是首先盒蓋，真空系統(tǒng)從真空室內(nèi)抽氣，當(dāng)達(dá)到預(yù)定真空度時(shí)，真空泵停止工作，加壓閥打開(kāi)，氣調(diào)裝置工作