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賽默飛世爾科技(中國)有...

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專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì), 賽默飛iCAP TQs ICP-MS

閱讀:407      發(fā)布時間:2019-11-15
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搭載全新5G SoC芯片,采用7nm+EUV制成工藝的國產(chǎn)phone5G版重磅來襲!!

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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上游是IC設(shè)計(jì)公司與硅晶圓制造公司,IC設(shè)計(jì)公司依客戶的需求設(shè)計(jì)出電路圖,硅晶圓制造公司則以多晶硅為原料制造出硅晶圓。中游的IC制造公司主要的任務(wù)就是把IC設(shè)計(jì)公司設(shè)計(jì)好的電路圖移植到硅晶圓制造公司制造好的晶圓上。完成后的晶圓再送往下游的IC封測廠實(shí)施封裝與測試,即大功告成!

 

硅片是半導(dǎo)體制造業(yè)的基礎(chǔ)材料,硅片表面極其少量的無機(jī)雜質(zhì)元素污染都可能器件的功能喪失或者可靠性變差,例如:

  • 堿金屬及堿土金屬(Li、Na、K、Ca、Mg、Ba等)污染會導(dǎo)致元件擊穿電壓降低;
  • 過渡金屬與重金屬(Fe、Cr、Ni、Cu、Au、Mn、Pb等)污染可使元件的壽命縮短,或者使元件工作時的暗電流增大;
  • 滲透元素(B、Al、As等)本身用于形成元件,如果是污染,則改變了元件的工作點(diǎn),使器件產(chǎn)生工作錯誤等;

硅片表面及處理硅片過程中所使用試劑中的無機(jī)元素監(jiān)測是硅片制造及使用過程中*的流程,也是提升元器件性能的重要方法及指標(biāo)。

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賽默飛四極桿型ICP-MS

針對半導(dǎo)體硅片表面及處理硅片所使用試劑中的無機(jī)元素雜質(zhì)含量均為痕量級別,且待測元素種類多,四極桿型ICP-MS由于其檢出限低、分析速度快等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中無機(jī)雜質(zhì)元素的分析中。賽默飛可為您提供iCAP RQ單四極桿ICP-MS及iCAP TQ三重串聯(lián)四極桿型ICP-MS。

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iCAP RQ 單四極桿ICP-MS

 

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體行業(yè)無機(jī)雜質(zhì)元素檢出*可能低至1ppt。對此,賽默飛專門推出半導(dǎo)體串聯(lián)四極桿型iCAP TQs ICP-MS

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iCAP TQs 三重四極桿ICP-MS

 

性能優(yōu)勢

  • 符合人體工程學(xué);
  • 緊湊型設(shè)計(jì),適用于與在線監(jiān)測系統(tǒng)和氣相蝕刻系統(tǒng)集成使用;
  • 自適應(yīng)化學(xué)惰性進(jìn)樣系統(tǒng)確保小的污染以得到可重復(fù)穩(wěn)定數(shù)據(jù);
  • 穩(wěn)健性能,一次分析中采用結(jié)合熱和冷等離子體方式;
  • 通過軟件流程實(shí)驗(yàn)全自動并簡化的日常分析工作;
  • 易于安裝,需要的安裝尺寸小,對潔凈室和生產(chǎn)場地要求?。?/span>
  • 標(biāo)配He, O?, H?, NH? 4路碰撞反應(yīng)氣體,能夠*消除ICP-MS測試過程中遇到的多原子離子干擾;標(biāo)配有機(jī)加氧裝置,可直接分析半導(dǎo)體行業(yè)遇到的有機(jī)試劑;
  • 標(biāo)配干泵,降低泵的使用及維護(hù)成本;避免油泵帶來的油霧顆粒,降低潔凈間的維護(hù)成本;
  • 穩(wěn)健可靠的冷焰模式,同一方法中可實(shí)現(xiàn)不同模式切換;冷、熱等離子體間切換,儀器長期穩(wěn)定性依然好;
  • 專門Reaction Finder功能,智能推薦反應(yīng)產(chǎn)物,簡化方法開發(fā)流程,是提升方法開發(fā)的有效手段;Q1實(shí)現(xiàn)1amu的質(zhì)量篩選,能更好的降低質(zhì)譜干擾的形成;
  • *的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)令操作及儀器維護(hù)更簡單;

 

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)

硅片經(jīng)VPD處理后會以溶液的形式被收集,經(jīng)VPD掃描的硅會在處理過程中與HF反應(yīng)被除去,掃描液中硅的含量很低,對儀器沒有耐高鹽的要求,采用標(biāo)配iCAP TQs ICP-MS對樣品進(jìn)行分析,測試元素為半導(dǎo)體常規(guī)關(guān)注元素。分析方法經(jīng)過Reaction Finder的優(yōu)化,測試結(jié)果真實(shí)可靠。

 

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為驗(yàn)zhengTQs ICP-MS在半導(dǎo)體硅片樣品測試中的穩(wěn)定性,對掃描液進(jìn)行加標(biāo)100ng/L,連續(xù)測試兩個小時。測試結(jié)果表明,半導(dǎo)體所關(guān)注的元素在兩個小時內(nèi)RSD值均在5% 以內(nèi),證明儀器的穩(wěn)定性能良好。

 

賽默飛針對半導(dǎo)體行業(yè)不僅可以提供無機(jī)元素分析儀器ICP-MS,還能提供離子色譜用于陰離子分析及GC-MS用于廠務(wù)氣體中揮發(fā)性有機(jī)物的分析。除此之外,賽默飛還為客戶提供物理失效分析、電子失效分析等分析儀器。綜上賽默飛可為半導(dǎo)體企業(yè)提供完整的解決方案,助力中國半導(dǎo)體企業(yè)騰飛!

 

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