無塵車間加濕 電子廠自動加濕系統(tǒng) 半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在 1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到 5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
無塵車間加濕 電子廠自動加濕系統(tǒng)人們對生產(chǎn)環(huán)境和生活質(zhì)量提升到了一個新的臺階，凈化工程技術(shù)也逐漸進入人們的視野中，無塵車間在電子，航空航天，生物工程制藥，化工，食品，機械制造等高科技領(lǐng)域和現(xiàn)代化科學(xué)領(lǐng)域中廣泛利用。為了達到產(chǎn)品的質(zhì)量需要一個潔凈不污染的空間，能控制潔凈度和溫濕度的空間，這樣的空間能夠保證產(chǎn)品的生產(chǎn)制造。尤其電子產(chǎn)品或儀器儀表都是需要在在百級以上無塵車間而且都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴(yán)格的要求。
因此，在凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理上要采取相應(yīng)的措施，例如：冬季要加熱加濕(因為冬季室外空氣是寒冷干燥的)。對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有超聲波加濕，其加濕方法是通過分子篩蒸發(fā)技術(shù)，除去水中的鈣鎂離子，改善空氣環(huán)境質(zhì)量，達到增加空氣濕度，消除靜電等作用，以保證工程質(zhì)量和正常生產(chǎn)。
無塵車間內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電都控制在某一需求范圍內(nèi)。防靜電用適當(dāng)?shù)目諝庠鰸窨梢杂行У慕档秃头乐轨o電的產(chǎn)生。而在車間環(huán)境濕度調(diào)節(jié)方面，使用超聲波系列純水工業(yè)加濕器可以使無塵車間保持一定的濕度，對消除靜電，減少粉塵以及提高潔凈度都有很大的幫助。 隨著工業(yè)和科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了越來越高的要求，空氣凈化工作也越來越引起大家的重視。近年來，我們結(jié)合工程實踐做了一些潔凈車間的濕度調(diào)研。從實踐中我們體會到，潔凈車間濕度控制是無塵車間生產(chǎn)具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。
無塵車間加濕 電子廠自動加濕系統(tǒng)
半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在 1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到 5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括：
細菌生長；工作人員感到室溫的范圍；出現(xiàn)靜電荷；金屬腐蝕；水汽冷凝；光刻的退化；吸水性；
細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降低。 相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺好的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。
高濕度實際上減小了無塵車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。
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