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更新時(shí)間:2023-02-14 08:13:03瀏覽次數(shù):429次
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DGS03自動(dòng)配氣系統(tǒng)
自動(dòng)配氣系統(tǒng)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制,配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體配氣的方法包括稱重法、分壓法、靜態(tài)容量法、流量比混合法、滲透法、擴(kuò)散法、體積比法等。該自動(dòng)配氣系統(tǒng)采用流量比混合法,是一種動(dòng)態(tài)配氣法,通過(guò)嚴(yán)格控制一定比例的組份氣體,并加以混合而制定標(biāo)準(zhǔn)氣體。與瓶裝標(biāo)準(zhǔn)氣相比,使用該方法能夠在同一配氣系統(tǒng)上,可以配置出滿足需要的不同組份濃度的各種標(biāo)準(zhǔn)氣,配制的目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度可達(dá)10-9級(jí)且連續(xù)可調(diào);可稀釋范圍寬,可以達(dá)到1/2000;系統(tǒng)不受環(huán)境溫度與壓力變化影 , 可以適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體,甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體,具有很好的應(yīng)用價(jià)值;采用氣體質(zhì)量流量計(jì)控制每一路所需的原料氣體的流量,可以控制配制目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體的總流量,實(shí)現(xiàn)連續(xù)配制并供給目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體,使用方便、靈敏度高、精度高。
適用于配制高、低濃度的多種目標(biāo)組分標(biāo)準(zhǔn)氣體,甚至包括爆炸性氣體 毒性氣體,具有很好的應(yīng)用價(jià)值
流量規(guī)格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
線性 | ±0.5% F.S. |
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. |
工作壓差范圍 | 0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM |
0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格>10SLM | |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn):≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時(shí):≤±0.1FS/℃ |
耐壓 | 3MPa ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡膠; 金屬密封 |
工作環(huán)境溫度 | (5~45) ℃ |
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