chiller溫控器冰水機(jī)HRS090制冷劑充注服務(wù)

主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導(dǎo)體制作過(guò)程/激光加工機(jī)/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller適用于半導(dǎo)體、元器件、芯片等高低溫溫度模擬測(cè)試，這是一種生產(chǎn)過(guò)程中的控溫設(shè)備。半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller采用了PID控制算法和自適應(yīng)的控溫技術(shù)，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)等組成。

chiller溫控器冰水機(jī)HRS090制冷劑充注服務(wù)

制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務(wù)

chiller溫控器冰水機(jī)HRS090制冷劑充注服務(wù)

泵體、管路發(fā)生的泄露、流量小、冷卻力、加熱力的下降，溫度無(wú)法調(diào)節(jié)等，按照客戶遇到問(wèn)題時(shí)提出的要求，進(jìn)行維修。
1. 水泵泵體，卡住，異響，振動(dòng)大
2. 冷凍機(jī)，無(wú)法制冷，管道堵塞，跳電
3. 維修熱交換器、加熱器

4.制冷劑充注，水泵維修，系統(tǒng)檢漏，改造翻新等服務(wù)

chiller溫控器冰水機(jī)HRS090制冷劑充注服務(wù)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

chiller溫控器冰水機(jī)HRS090制冷劑充注服務(wù) 應(yīng)用領(lǐng)域

激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等

高低溫液體冷卻機(jī)Chiller

溫控精度（空載時(shí)）±0.05℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

占地面積小、保護(hù)裝置

快速升溫/降溫、提高生產(chǎn)效率、降低運(yùn)營(yíng)成本和保障生產(chǎn)

運(yùn)行穩(wěn)定、準(zhǔn)確控溫