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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-01-12 09:26:55瀏覽次數(shù)：427次
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簡(jiǎn)要描述：OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對(duì)于用PVD或CSS法來(lái)制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20#186;C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1#186;C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。
| 技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| 真空腔體 | ● 腔體為一高純石英管 ● 尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H | |
| 真空法蘭 | ● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作 ● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口 ● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口 ● 法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)真空度可達(dá)10-2 torr兩個(gè)法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng) ● 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度 （點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）   | |
| 混氣系統(tǒng) | 可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）   | |
| 加熱元件和載樣臺(tái) | ● 由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱 ● 額定功率800 W,總功率：1600W ● 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上 ● 一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部 ● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度 更加均勻 ● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來(lái)盛裝蒸發(fā)料   | |
| 熱電偶 | 兩個(gè)K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上 | |
| 溫控系統(tǒng) | ● 兩個(gè)控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫 ● 可以選購(gòu)PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中  | |
| 工作溫度 | ● 兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的MAX溫度： ≤650ºC ● 兩個(gè)加熱區(qū)域大溫差: ≤350 ºC | |
| 加熱和冷卻速率 | ● 加熱速率: > 8 ºC /S ● 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC) | |
| 電源 | 208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開關(guān)） | |
| 可選配件 | 本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)  | |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期 終身維護(hù) (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 ) | |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE | |
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