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鄭州科佳電爐有限公司

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1200雙溫區(qū)觸摸屏CVD系統(tǒng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號KJ-T1200

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:范經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-07-14 14:39:30瀏覽次數(shù):121次

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簡介:KJ-T1200CVD是一種管式爐,配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統(tǒng)
簡介: 
    KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備60mm直徑氧化鋁管、真空泵和四通道質(zhì)量流量計+一個浮子流量計氣體流動系統(tǒng)。它可以混合1-4種氣體用于CVD或擴散。 
 
技術(shù)參數(shù):
模型 KJ-T1200
部分:標準件
 
 
 
 
 
 
 
管式爐 
展示 LED類型
限度溫度 1200℃
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:0~10℃/min
溫區(qū) 300mm + 300mm 雙區(qū)
加熱元件 電阻絲
熱電偶 K型
溫度控制精度 ±1℃ ()
管尺寸 60 / 52mmx 1000mm (OD/ID x L)
材質(zhì):石英管 
溫度控制 通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 不銹鋼真空法蘭。
法蘭的一端有 2 個帶倒鉤的針閥,裝有機械壓力表。
 
法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 
功率 220V,50 Hz,單相 6KW
真空泵 旋片真空泵 極限真空 10 -3  Torr。
管內(nèi)的真空度約為 10 -1  Torr。
(RM溫度和空管條件)
流量:2.6 L / S
 (泵照片僅供參考,實際外觀取決于最終設(shè)計)
旋片真空泵將設(shè)計成帶輪子的推車。帶連接附件
 
包括數(shù)字真空計
3.8x10 -5 至 1125 Torr 測量范圍
耐腐蝕,與氣體類型無關(guān)

 
帶液晶觸摸屏控制器的定制質(zhì)量流量計
(七星級品牌)
 



 
一個浮子流量計 + 四個精密質(zhì)量流量計:
MFC 精度為:±1.5% FS
MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm
氫氣 MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3 用于甲烷:氣體流量范圍 0~100 sccm
氬氣 MFC 4: 氣體流量范圍 0~100 sccm
氧氣 MFC 5: 氣體流量范圍 0~100 sccm
 
FFC 1 氬氣和氮氣混合氣體: 氣體流量范圍 0~100sccm
 
一種氣體混合罐(僅適用于 5 MFC)安裝在底殼上,5 個不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè),用于手動控制 5 種氣體混合。

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 

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