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科技成果 真空泵制造業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀

時(shí)間:2006-5-13閱讀:4411
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真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的*的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵從高/超真空到粗/低真空,其產(chǎn)品大致可分14大類:

    高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵。 
    中真空——干泵、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。
    粗/低真空——單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。
    真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
    目前,真空泵市場(chǎng)的年銷售額約20億美元,年增長(zhǎng)率在7%左右。
    我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右,僅相當(dāng)于美國(guó)Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過(guò)對(duì)真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國(guó)產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,有些泵還出口國(guó)外,得到國(guó)外用戶的認(rèn)可并受到好評(píng),應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。
    1.液環(huán)泵
    雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在我國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。在國(guó)外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場(chǎng)的14%,僅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國(guó)投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),不斷擴(kuò)大在我國(guó)的*。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品,所以國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì),縮小體積,減輕重量,提率,降低能耗。
    2.滑閥泵
    由于滑閥泵比較耐用、可靠,國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入市場(chǎng),必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。
    3.直聯(lián)旋片泵
    隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價(jià)格又很低,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。
    4.羅茨泵
    從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看,國(guó)外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcal、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目前,國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入市場(chǎng),這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲,*解決軸封漏油問(wèn)題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。
    目前,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。
    5.分子泵
    分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
    由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場(chǎng)合的需要。
    6.干泵
    國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng),其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口,其價(jià)格十分昂貴。所以,我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。

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