掃描電鏡是一款性能價(jià)格比很高的儀器，具有*的分辨能力，即使在高放大倍率下也可得到清晰的圖像，并且支持功能強(qiáng)大的圖像分析系統(tǒng)S/W。它為PC控制的數(shù)字式掃描電鏡，用戶在熟悉的Windows環(huán)境下用簡單的鼠標(biāo)操作就可進(jìn)行各種圖像分析和測量。

掃描電鏡特點(diǎn):

1.高分辨率圖像：鎢燈絲發(fā)射，使用Dual Slit lens及穩(wěn)定的電源保證了3.5nm的高分辨率，從而能看清被觀察樣品的顯微圖像細(xì)節(jié)。

2．支持強(qiáng)大的S/W分析功能：具有圖像編輯及管
理功能，支持圖像處理及增強(qiáng)功能，3維數(shù)據(jù)
視圖/多重聚焦/圖像拼接/輪廓等圖像分析功能。

3．方便的計(jì)算機(jī)控制式數(shù)據(jù)運(yùn)行環(huán)境：簡便的
Window XP運(yùn)行環(huán)境及GUI（圖文用戶界面）控制系統(tǒng)支持各種圖形格式，如：JPEG, BMP, PCX, TIF等，支持1280X960高分辨率像素存貯管理。

4．?dāng)U展性：具有安裝EDS, WDS 及 BSE探測器等接口。

5．計(jì)算機(jī)控制：使用者只要點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作。

6．全自動真空控制系統(tǒng)：避免誤操作而引起油蒸汽污染

7．大樣品室設(shè)計(jì)：242×260×302 mm，多種樣品托，可方便裝載不同的樣品。

8．五軸控制：X、Y、Z、R、T，其中X，Y，R為電動可選

樣品移動范圍：X(50)、Y(70)、Z(60)、R(360°)、T(-30~90°)

9．寬放大倍率：5倍至300，000倍

10．自動聚焦、消像散及自動亮度、對比度調(diào)節(jié)

11. 具有SE/BSE圖像模式轉(zhuǎn)換，無需BSE探測器即可觀察BSE圖像

12．?dāng)U展性強(qiáng)，可根據(jù)用戶要求定制各種附件

配置：

1.電子光學(xué)系統(tǒng)

1.1 電子槍：鎢燈絲發(fā)射；彈夾式燈絲座，更換燈絲非常方便。

1.2 透鏡：聚光鏡為二極透鏡系統(tǒng)。
物鏡運(yùn)用（Dual Slit lens）透鏡減少了球差，提高分辨率。

1.3 探測器：E-T bar型二次電子探測器具有很高的檢測效率。

通過改變探測器上的法拉第盒電壓即可進(jìn)行二次電子/背散射電子（SE/BSE）
模式轉(zhuǎn)換。

1.4 樣品室：具有二次電子探測器，以及能譜儀、背散射電子、波譜儀探測器
等端口。可擴(kuò)展性強(qiáng)，可升級為多種外接設(shè)備端口。

樣品室大小:242×260×302 mm。

并可根據(jù)用戶要求定制觀察特殊樣品的樣品室。

1.5 載物臺：5 軸 (X，Y，Z，旋轉(zhuǎn)，傾斜) 控制，機(jī)械同軸傾斜平臺。

360°方向旋轉(zhuǎn)。

-30°至90°優(yōu)化的傾斜角度適用于各種截面觀察。

載物臺移動范圍為50/70/60mm(X/Y/Z)。

選擇不同的樣品座，可同時(shí)方便裝載多個(gè)樣品及觀察，可提高工作效率。

1.6 光闌：固定光闌4個(gè),活動光闌3孔。

2.電氣系統(tǒng)：

高壓電源:穩(wěn)定度達(dá)PPM級。

控制電源:全自動控制。

真空控制系統(tǒng):具有全自動及手動控制。

3.真空部件：
機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、真空閥等。

4．AIS2100 GUI 軟件

4.1通用功能：

•PC控制式數(shù)字掃描電鏡，采用用戶熟悉的Window環(huán)境作為操作系統(tǒng)，通過點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可顯示設(shè)備的狀態(tài)。

•支持文件組管理功能，具有諸如文件打開，存貯，格式變換，打印及縮略圖瀏覽等功能。

•給用戶提供方便的放大/縮小，Panning，宏觀觀察等工具。

•提供長度，面積，角度等測量功能，及目標(biāo)測量追蹤功能等。

•支持圖像編輯功能，建立感興趣區(qū)域，具有圖像剪切、粘貼編輯功能以及箭頭、文字、圓、四邊形、任意曲線等標(biāo)注功能。

•用戶可根據(jù)不同的要求設(shè)置參數(shù)，如透鏡、消像散、探測器及接收器的放大器等參數(shù)的設(shè)置。

•通過多重窗口及有效的圖像處理模塊來控制掃描電鏡。

4.2 專業(yè)圖像處理及分析功能

色彩變換

•在灰度位圖上創(chuàng)建任意色彩

•在SEM灰度圖或頻譜圖像上通過偽彩色來增強(qiáng)邊緣效果

3D重建

•調(diào)節(jié)視場角度，用亮度設(shè)置色彩，設(shè)置光源，支持線框架及回放選項(xiàng)

•根據(jù)圖像的亮度值重建3維圖像

多重聚焦

•在同一視場不同焦面拍攝的一系列圖像中，通過多重聚焦功能，創(chuàng)建一個(gè)新的、聚焦好的圖像

圖像拼接

•把各個(gè)相鄰的圖像拼接成一幅圖像

•自動拼接，創(chuàng)建一幅完整的高分辨率圖像

•通過對個(gè)別圖像的亮度分析進(jìn)行亮度補(bǔ)償

•支持去模糊功能，通過重疊邊界去除不連續(xù)點(diǎn)

•靈活的矩陣分割及圖像排列
頻率濾波器

•低通/高通/帶通，Band Stop, High Emphasis, Homomorphic濾波器

•通過圖像頻譜觀察，設(shè)計(jì)新的濾波器
用戶自定義濾波器

•通過選擇濾波器掩碼值設(shè)計(jì)合適的濾波器

•創(chuàng)建各種尺寸的掩碼，通過缺省值來打開及存貯用戶自定義濾波器，設(shè)置初始值
直方圖

•使用RGB / HSV / HLS / CMYK色彩模型研究色彩分布

•來自于直方圖，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差，系數(shù)，zui大，zui小等至少12個(gè)因子累計(jì)總和

•可把數(shù)據(jù)導(dǎo)入到Excel

注釋

•用戶可以運(yùn)用如圓周、方框、直線、箭頭、文字等注釋符號

•通過使用水平線、直線、垂直線、對角線、方框等進(jìn)行測量功能
報(bào)告設(shè)計(jì)

•通過使用直線、矩形、圓、文字、圖像等圖表創(chuàng)建各種報(bào)告格式，
保存及打開用戶自定義報(bào)告格式

5. 電腦
電腦：韓國電腦主機(jī)，奔騰IV CPU、512MB內(nèi)存、80G硬盤，19”LCD 顯示器（國內(nèi)購買）

6. 穩(wěn)壓電源、空壓機(jī)（國內(nèi)購買）

7. 防震工作臺
具有雙重防震裝置

8. 備件、樣品制備工具及調(diào)整工具一套

9. 使用說明書一套

10.Hardware installationOperator training 儀器安裝及培訓(xùn)