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MF5712-G-250-B-A氣體質(zhì)量流量計(jì)MODBUS通訊協(xié)議中文版

MF5700系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是基于MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動(dòng)氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系，在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測(cè)量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí)，在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過(guò)傳感器時(shí)，氣體的流動(dòng)將破壞該溫度場(chǎng)的分布，形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場(chǎng)分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測(cè)量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，由一個(gè)專(zhuān)門(mén)的電路變送器對(duì)此信號(hào)進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場(chǎng)分布所產(chǎn)生的擾動(dòng)不同，因而能測(cè)量氣體的質(zhì)量流量或總流量。下圖為該系列流量計(jì)的原理框圖。

MF5712-G-250-B-A氣體質(zhì)量流量計(jì)

傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了流量計(jì)的高精度計(jì)量靈敏度高，能夠?qū)O小的始動(dòng)流量就可以開(kāi)始計(jì)量

在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了80:1甚至更高全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

支持多種氣體的測(cè)量，允許客戶(hù)對(duì)某些特殊氣體進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定響應(yīng)速度快

輸出方式靈活，提供LCD現(xiàn)場(chǎng)顯示，也可提供RS485通訊接口由上位機(jī)查詢(xún)輸出數(shù)據(jù)可通過(guò)按鍵配置參數(shù)

具有超量程報(bào)警指示功能

便攜式設(shè)計(jì)，電池供電和外部供電方式可以任意切換

G螺紋或NPT螺紋連接，易于安裝與使用，也可根據(jù)客戶(hù)需求定制其他接口