功能特點 |
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- 配置兩個靶槍,一個為配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個為配套直流電源用于導電類材料的濺射鍍膜。
- 可制備多種薄膜,應用廣泛。
- 體積小,操作簡便。
技術參數(shù) | |||
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安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) | ||
電 | AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
氣 | 設備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 | ||
工作臺 | 尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 | ||
通風裝置 | 需要 | ||
電源電壓 | 220V 50Hz | ||
大功率 | <560W(不含真空泵) | ||
極限真空度 | < ?E-6mbar(配合本公司設備使用可達到?E-5mbar) | ||
工作溫度 | RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度) | ||
靶槍數(shù)量 | 2個(可選配其他數(shù)量) | ||
靶槍冷卻方式 | 水冷 | ||
靶材尺寸 | Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) | ||
直流濺射功率 | 500W(可選) | ||
射頻濺射功率 | 300W/500W(可選) | ||
載樣臺 | Ø140mm | ||
載樣臺轉(zhuǎn)速 | 1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) | ||
保護氣體 | Ar、N2等惰性氣體 | ||
進氣氣路 | 質(zhì)量流量計控制2路進氣,每個流量為100SCCM | ||
主機尺寸 | 500mm×560mm×660mm | ||
整機尺寸 | 1300mm×660mm×1200mm | ||
重量 | 160kg | ||
可選配件 | 金、銦、銀、白金等各種靶材 | ||
標準配件 | 1 | 直流電源控制系統(tǒng) | 1套 |
2 | 射頻電源控制系統(tǒng) | 1套 | |
3 | 膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng) | 1套 | |
4 | 分子泵(德國進口) | 1臺 | |
5 | 冷水機 | 1臺 | |
6 | 冷卻水管(Ø6mm) | 4根 | |
7 | 靶材(不銹鋼靶、陶瓷靶) | 各1件 |