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VTC-600-2HD 雙靶磁控濺射儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/11 10:01:39
  • 訪問次數(shù)431
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深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務網(wǎng)絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關研發(fā)設備和鋰電池實驗設備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內(nèi)標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質(zhì)子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備; ? 功能薄膜研發(fā)實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等); 公司設立了開放的研發(fā)實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識產(chǎn)權的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內(nèi)發(fā)明),并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業(yè)簽署產(chǎn)學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)的售前技術人員協(xié)助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調(diào)研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協(xié)助細分領域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學是基礎科學??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障??凭F隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發(fā)展做出貢獻。
封口設備
簡要描述:VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是研制開發(fā)的鍍膜設備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜、半導體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備。
VTC-600-2HD 雙靶磁控濺射儀 產(chǎn)品信息
功能特點
  • 配置兩個靶槍,一個為配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個為配套直流電源用于導電類材料的濺射鍍膜。
  • 可制備多種薄膜,應用廣泛。
  • 體積小,操作簡便。
技術參數(shù)
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
設備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
AC220V 50Hz,必須有良好接地
設備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
工作臺尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
通風裝置需要
電源電壓220V 50Hz
大功率<560W(不含真空泵)
極限真空度< ?E-6mbar(配合本公司設備使用可達到?E-5mbar)
工作溫度RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實際需要提升溫度)
靶槍數(shù)量2個(可選配其他數(shù)量)
靶槍冷卻方式水冷
靶材尺寸Ø2″,厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
直流濺射功率500W(可選)
射頻濺射功率300W/500W(可選)
載樣臺Ø140mm
載樣臺轉(zhuǎn)速1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
保護氣體Ar、N2等惰性氣體
進氣氣路質(zhì)量流量計控制2路進氣,每個流量為100SCCM
主機尺寸500mm×560mm×660mm
整機尺寸1300mm×660mm×1200mm
重量160kg
可選配件金、銦、銀、白金等各種靶材
標準配件1直流電源控制系統(tǒng)1套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)1套
4分子泵(德國進口)1臺
5冷水機1臺
6冷卻水管(Ø6mm)4根
7靶材(不銹鋼靶、陶瓷靶)各1件


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