技術參數(shù) | |||||
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主要參數(shù) |
● 輸入電源:220V 通用 功率:< 1KW ● 工作電流: 濺射電流:0-50 mA可調 ● 單次工作時間:0-5分鐘可調 ● 靶頭數(shù)目:3個 ● 輸出電壓:1600V DC ● 樣品臺加熱溫度:500℃(選配)
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濺射腔體 |
● 采用石英腔體,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封:采用O形密封圈密封
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樣品臺 |
● 一個外徑50 mm 的樣品臺,用于盛放基片,可以電動控制移動三個位置 ● 濺射距離:25 - 40毫米可調 ● 可選購加熱型樣品臺(MAX溫度可到500℃) ● PID控制器控溫精度+/- 1℃(已集成到觸摸屏上)
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控制面板 |
● 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏 ● 一個控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵(選配) |
● 用機械泵真空度達 50 mtorr(僅供參考,詳情請點擊) ● 用分子泵真空度可達 10-4 torr(僅供參考,詳情請點擊)
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進氣口 |
一個精密可調針閥安裝在進氣口,以實現(xiàn)方便的調節(jié)進氣量
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靶材 |
● 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購靶材,具體請點擊鏈接
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外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG(不包括泵)
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質保期 |
一年保修,終身技術支持 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內
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質量認證 | CE認證
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各種靶材的參數(shù)(僅供參考) |
對于濺射各種金屬靶材,需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設置的參數(shù)(參考值, 詳情請點擊) | ||||
靶材種類 | 真空度(Pa) | 濺射電流(mA) | 時間(s) | 濺射次數(shù) | |
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
使用注意事項 |
● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機 或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細節(jié) ● 有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質量,必須通入高純氣體(建議> 5N) ● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 ● 要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮氣干燥(4) 真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物 ● 制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力
超聲波清洗機 等離子清洗機 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱
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警告 |
● 注意:產(chǎn)品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。 ● 氣瓶上應安裝減壓閥(設備標配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶材 |
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱深圳市科晶智達科技有限公司
- 品 牌
- 型 號
- 所 在 地
- 廠商性質其他
- 更新時間2023/1/12 9:34:47
- 訪問次數(shù)377
深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業(yè)研發(fā)部門的國家技術企業(yè),長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發(fā)一站式服務平臺,為科學研究與產(chǎn)業(yè)孵化賦能。 深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯(lián)盟,目前已經(jīng)搭建輻射的服務網(wǎng)絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。 深圳科晶創(chuàng)立初期主要為半導體、精密光學器件提供潔凈存儲和安全轉移所使用的包裝制品,產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、花籃等。 公司2008年開始進行材料相關研發(fā)設備和鋰電池實驗設備的開發(fā),經(jīng)過十多年的積累深圳科晶現(xiàn)已成為新能源和新材料基礎研究、小試與中試、測試與評估的整體解決方案規(guī)劃者和提供者,產(chǎn)品應用涵蓋了石墨烯材料、*陶瓷、*納米材料、鋰離子電池、超級電容器、燃料電池、固態(tài)電池、鈣鈦礦太陽能電池、功能薄膜等方向。 主要產(chǎn)品系列:按應用與工藝更新產(chǎn)品系列 ? 材料基礎研究實驗裝備(包括混料、涂覆、鍍膜、壓制、燒結、切割、研磨、拋光、粉碎、制粉、造粒、熔煉等); ? 電池研發(fā)實驗制備裝備(包括鋰離子電池、固態(tài)電池、超級電容器、金屬空氣電池、鈉離子電池、液流電池、太陽能電池等制備方案); ? 電池安全測試裝備(符合GB31241 、GB31485、IEC62133、UN38.3等國內標準等); ? 鋰離子電池中、小試生產(chǎn)制備全流程系統(tǒng)裝備方案,交鑰匙工程(包括扣式、柱狀、軟包、方形鋁殼等各種全電池制備方案); ? 燃料電池研發(fā)實驗制備裝備(包括固體氧化物、質子交換膜燃料電池等制備方案); ? 鈣鈦礦太陽能電池研發(fā)實驗制備; ? 功能薄膜研發(fā)實驗設備(包括混料、涂布、輥壓/復合、分切、復卷等); ? 高通量材料基因組實驗設備(包括配液、配粉、混合分散、壓片、燒結、測試表征等); 公司設立了開放的研發(fā)實驗室和設備體驗中心。對于鋰電池行業(yè),可實現(xiàn)公斤級別材料制備及電池研發(fā),能接受上門小批量材料驗證、定向工藝研究及小量成品電池制備等研發(fā)工作。 深圳科晶強大的研發(fā)團隊支撐了豐富的產(chǎn)品鏈,針對現(xiàn)有產(chǎn)品具有知識產(chǎn)權的發(fā)明和實用新型共40多項(包含PCT和國內發(fā)明),并參與行業(yè)多項標準制定且獲得多個行業(yè)協(xié)會認可。 本著“精誠合作、創(chuàng)新共贏”的宗旨,深圳科晶先后與清華大學、南開大學、上海交通大學、深圳大學、中航發(fā)航材院、溧陽天目湖研究院等十多個高校機構和企業(yè)簽署產(chǎn)學研合作。與此同時,深圳科晶設立了對外服務的公共試驗平臺,承接科研人員參觀交流與現(xiàn)場測試體驗,配備行業(yè)的售前技術人員協(xié)助研究者充分了解相關工藝和設備,縮短調研考察與決策時間。該實驗室平臺也可以承接相關工藝試驗服務和培訓咨詢服務,協(xié)助細分領域的科研工作者快速掌握產(chǎn)業(yè)工藝,從而專注前沿研發(fā)。 材料科學是基礎科學??v觀人類科技的發(fā)展歷史,新型材料的發(fā)現(xiàn)和應用將帶來巨大的產(chǎn)業(yè)機遇,而*的實驗裝備和儀器是為科研和應用保駕護航的重要保障??凭F隊將一如既往秉承“客戶為本,技術為導,誠信為基,積極創(chuàng)新”的運營理念 ,竭力為科學研究和科技發(fā)展做出貢獻。
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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 產(chǎn)品信息
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