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滑道式PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)KJ-T1200-S
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/7/13 11:39:40
  • 訪問(wèn)次數(shù)165
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 鄭州科佳電爐有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產(chǎn)品的研發(fā).生產(chǎn)與銷售的*。公司產(chǎn)品涵蓋箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統(tǒng),牙科爐,升降爐,軌道爐等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結(jié)、電池材料干燥、金屬光亮處理、零部件退火、科學(xué)研究等多個(gè)領(lǐng)域.

    多年來(lái)公司堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,致力于不斷提高產(chǎn)品品質(zhì)和完善技術(shù)服務(wù),憑借過(guò)硬的技術(shù)、豐富的實(shí)踐積累,先后研發(fā)出了一系列具有*水準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)窯爐。公司的產(chǎn)品和服務(wù)受到眾多國(guó)內(nèi)外客戶的肯定與贊賞,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷到美國(guó)、德國(guó),意大利,法國(guó)、俄羅斯,加拿大、英國(guó)、澳大利亞,土耳其、印度、巴基斯坦、伊朗、南非、巴西、泰國(guó)、新加坡等三十多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。 

    科佳電爐擁有完整、科學(xué)的質(zhì)量管理體系,標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)制造車間,具有年產(chǎn)1000臺(tái)電爐生產(chǎn)制造能力,生產(chǎn)規(guī)模位居*,是國(guó)內(nèi)具有影響力的實(shí)驗(yàn)電爐、工業(yè)窯爐生產(chǎn)制造商。公司目前有一些員工百余人,多名專業(yè)熱工技術(shù)工程師和設(shè)計(jì)制造工程師, 并聯(lián)合多所重點(diǎn)科研院校共同建立了多個(gè)技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目,為每一位客戶提供高技術(shù)含量的產(chǎn)品解決方案和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)是所有科佳人的神圣職責(zé)! 

鄭州科佳電爐有限公司的誠(chéng)信、產(chǎn)品品質(zhì)和售前售后服務(wù)已獲得業(yè)界的廣泛認(rèn)可,公司將繼續(xù)秉承以誠(chéng)信廣交天下朋友,以品質(zhì)贏取市場(chǎng)的理念,真誠(chéng)希望與各界朋友,攜手共進(jìn),合作共贏!

箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等
產(chǎn)品介紹:滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成
滑道式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹:
    滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品應(yīng)用:
   PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
  
產(chǎn)品參數(shù):
 
產(chǎn)品名稱滑道式PECVD系統(tǒng)
滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區(qū)長(zhǎng)度440mm
爐管直徑直徑60mm
工作溫度≦1100℃
溫度1200℃
測(cè)溫元件K型熱電偶
溫控系統(tǒng)PID微電腦可編程自動(dòng)控制
控溫精度±1℃
溫控保護(hù)具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率0-20ºC/min
加熱元件高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓AC 220V 單相 50HZ 
滑軌設(shè)計(jì)能實(shí)現(xiàn)快速升降溫
爐膛材料采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場(chǎng)均衡
密封系統(tǒng)該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好
爐  管高純石英管
法   蘭不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料
爐殼溫度≤45℃
                     真空系統(tǒng)部分
名稱高真空分子泵組
主要參數(shù)真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動(dòng)箱體)
真空計(jì)測(cè)量范圍其測(cè)量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統(tǒng)部分
名稱四路質(zhì)量流量計(jì)
氣路四路
流量控制每路氣體含有針閥單獨(dú)控制
流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍0-1000sccm可調(diào)
工作環(huán)境溫度5℃-45℃
等離子電源系統(tǒng)
匹配功率范圍0-500W
工作頻率13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率<3W
匹配時(shí)間<3S
傳輸效率>90%
匹配器電源AC220V/50-60HZ
輸入連接器N型
輸出連接器UHF
控制模式手動(dòng)/自動(dòng)
可設(shè)預(yù)置點(diǎn)數(shù)7
認(rèn)證*、CE認(rèn)證
售后服務(wù)質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)

 

 

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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