KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴(kuò)散。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號 | KJ-T1200 PECVD | |
| 部分：標(biāo)準(zhǔn)件 | ||
| 等離子射頻電源 | 輸出功率 | 5 -500W可調(diào)，均勻性 ± 1% |
| RF頻率 | 13.56 MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | 200W | |
| 射頻輸出端口 | 50 Ω，N型 | |
| 噪音 | <50 dB. | |
| 冷卻 | 空氣冷卻 | |
| 管式爐部分 | 顯示 | LED |
| 形式 | 分體式和上部可打開 | |
| 連續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議：0~10℃/min（20℃/min） | |
| 溫區(qū)長度 | 500mm | |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度均勻性 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 200m外徑 X 長度1600mm | |
| 材質(zhì)：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通SCR功率控制進(jìn)行 PID 自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30步可編程 | |
| 法蘭 | 不銹鋼帶閥真空法蘭 | |
| 電壓 | 380V, 50 Hz, 三相 20KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 流量：4L/S 旋片式真空泵將設(shè)計(jì)成帶輪的推車。 | |
| 質(zhì)量流量計(jì) | 三款精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據(jù)您的要求） 底殼安裝1個(gè)氣體混合罐，底殼左側(cè)安裝3個(gè)不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合  | |
| 數(shù)字真空計(jì) | 皮拉尼數(shù)字真空計(jì) | |
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