CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
CEM3000中圖掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價值，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
產(chǎn)品功能
1）CEM3000掃描電鏡SEM品牌緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；
2）高分辨率，能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設(shè)計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調(diào)節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術(shù)，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠?qū)悠愤M行多種手段的分析。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設(shè)計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
應(yīng)用領(lǐng)域
CEM3000系列中圖儀器高分辨率掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設(shè)計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。
部分技術(shù)指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側(cè)視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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