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氣浮導(dǎo)軌的優(yōu)勢(shì)2023/01/07
氣浮導(dǎo)軌基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦和無(wú)振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無(wú)污染等特點(diǎn)。因其誤差均化作用，可用比較低的制造精度來(lái)獲得較高的導(dǎo)向精度。通常與直線電機(jī)，編碼器反饋，控制驅(qū)動(dòng)器組成閉環(huán)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度位移定位。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)常用導(dǎo)軌有機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌等，機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的應(yīng)用己經(jīng)有好多年，機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米級(jí)，摩擦因數(shù)可以降低到0.002至0.003。機(jī)械滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是滾動(dòng)摩擦阻力小，沒(méi)有滑動(dòng)導(dǎo)軌的爬行、浮動(dòng)現(xiàn)象，但
高精密氣浮平臺(tái)及其直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)特性2023/01/07
由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，直線電機(jī)具有無(wú)接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn)，在運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了直接驅(qū)動(dòng)。因此，直線電機(jī)和氣浮導(dǎo)軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點(diǎn)，適合應(yīng)用于精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì)之中。但由于直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速精密氣浮平臺(tái)加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，運(yùn)動(dòng)過(guò)程中精度較差，易產(chǎn)生超調(diào)和振蕩，限制了直線進(jìn)給精度，難以滿足超精密加工的要求。因此，為解決直線電機(jī)及直線氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)存在的
氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是什么2022/12/21
高精度和高分辨率的氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。它直接影響精密、超精密切削加工水平、精密測(cè)量水平及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國(guó)高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺(tái)系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時(shí)工作臺(tái)的速度、加速度及啟停過(guò)程的穩(wěn)定時(shí)間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。由于氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度和分辨率多在亞微米級(jí)，工作環(huán)境的影響不容忽視。溫度的變化直接影響平臺(tái)的定位精度，外部振動(dòng)會(huì)影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性，環(huán)境溫
瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的特點(diǎn)2022/12/20
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來(lái)進(jìn)行非接觸式旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，獲得了較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。應(yīng)用于晶圓加工與檢測(cè)、生物檢測(cè)、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)。瑞邦精控氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的特點(diǎn)：1.閉式氣浮結(jié)構(gòu)；2.精準(zhǔn)回零位置；3.軸向跳動(dòng)高達(dá)10nm；4.手動(dòng)和電動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)軸向和徑向跳動(dòng)誤差一致；5.高速穩(wěn)定性；6.解決氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)抱死的問(wèn)題；7.使用壽命10年以上；8.作為A軸可臥式使用。對(duì)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，氣浮軸承表面和
精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)在3D打印中應(yīng)用2022/12/20
精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)為3D打印應(yīng)用提供精確定位。進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，3D打印技術(shù)有了全新的突破，正式進(jìn)入3D打印的高速發(fā)展階段，并在大類(lèi)技術(shù)的細(xì)分下逐步涌現(xiàn)出了各式各樣的革新式小類(lèi)工藝，以滿足特定行業(yè)需求，與傳統(tǒng)制造業(yè)形成有效互補(bǔ)。瑞邦精控的精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)到亞微米精度級(jí)別，助力于3D打印技術(shù)的發(fā)展。3D打印方法分類(lèi)：1.材料擠出型，優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備和耗材的價(jià)格低廉、材料范圍廣、打印產(chǎn)品強(qiáng)度高。缺點(diǎn)：打印精度較低、打印樣件表面粗糙度大。2.光聚合成型，優(yōu)點(diǎn)：加工精度高、打印成品表面光滑、整面曝光成型效率高。缺點(diǎn)：材料范
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)概述2022/11/11
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是超精密機(jī)械中的一種新型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量、高精密機(jī)床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個(gè)能夠?qū)崿F(xiàn)超精密定位、檢測(cè)和運(yùn)動(dòng)的載物平臺(tái)，為開(kāi)展超精密加工工藝技術(shù)研究拓展了領(lǐng)域，能解決高精度零件在加工、檢測(cè)等方面的難題。利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導(dǎo)入實(shí)現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過(guò)軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動(dòng)誤差。北京瑞邦精控科技有限公司擁有多年的精密機(jī)械加工及裝配經(jīng)驗(yàn)，采用合
精密Z軸的介紹2022/11/05
北京瑞邦精控的精密Z軸分為側(cè)掛式和平升式。1．側(cè)掛式Z軸選用精密重或中預(yù)壓機(jī)械導(dǎo)軌（終依據(jù)用戶應(yīng)用選擇），氣浮導(dǎo)軌做支撐和導(dǎo)向，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需進(jìn)行力學(xué)分析和模態(tài)分析，以盡量減小變形量和提高一階固有頻率為目的，精密Z軸配置低摩擦氣缸做配重，使得系統(tǒng)有較好的平衡。因直驅(qū)電機(jī)無(wú)抱閘功能，配置低摩擦平衡氣缸，其優(yōu)勢(shì)：密封件具有低摩擦特性，通過(guò)氣體潤(rùn)滑實(shí)現(xiàn)，可抵消直線電機(jī)向上的持續(xù)驅(qū)動(dòng)力，運(yùn)行平穩(wěn)，同時(shí)斷電時(shí)防止負(fù)載掉落，禁止出現(xiàn)損壞工件或人身傷害等，可安裝到龍門(mén)橋架上或XY軸上。2．平升Z軸1)重載大行程，
直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì)2022/11/04
直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)有哪些部分組成呢？首先是驅(qū)動(dòng)部分：無(wú)鐵芯直線電機(jī)，有鐵芯直線電機(jī)，優(yōu)點(diǎn)是無(wú)齒槽效應(yīng)、高動(dòng)態(tài)性能、電流噪聲??；有鐵芯直線電機(jī)的優(yōu)點(diǎn)：推力大、中低端應(yīng)用性?xún)r(jià)比高。其次是導(dǎo)軌部分：氣體靜壓導(dǎo)軌，油靜壓導(dǎo)軌，線性導(dǎo)軌。然后是光柵尺部分：雷尼紹、海德漢直線光柵尺或圓光柵。還有基座部分：大理石基座，鋁合金基座，鑄鐵基座/鋼板。結(jié)構(gòu)件部分：6061/7075鋁合金。由以上主要零部件組成的。直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)相對(duì)其他廠家的伺服電機(jī)加絲桿的運(yùn)動(dòng)臺(tái)有哪些優(yōu)勢(shì)：1.伺服電機(jī)搭配絲桿結(jié)構(gòu)，絲杠副、聯(lián)軸節(jié)等
氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)你了解嗎2022/10/27
氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)你了解嗎？接下來(lái)小編為大家介紹一下，希望對(duì)大家能有所幫助。氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)逐漸的出現(xiàn)制造加工中，給我們帶來(lái)了不一樣的體驗(yàn)。氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)的空氣軸承是通過(guò)向軸承腔中注入壓力空氣。泄壓間隙很小，軸承腔與主軸間形成氣膜，保證主軸懸浮于空氣中，旋轉(zhuǎn)精度穩(wěn)定。它具有高速、高精度、無(wú)噪音、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)潤(rùn)滑油、速度控制性能、抗碰撞安全保護(hù)等特點(diǎn)。氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有如此多的優(yōu)點(diǎn)，在高精度應(yīng)用領(lǐng)域中，用氣浮軸承來(lái)替代普通的機(jī)械軸承已越來(lái)越多。特點(diǎn)：1.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。2.轉(zhuǎn)動(dòng)輕巧。3.運(yùn)行平穩(wěn)。4.高精度。5.摩擦損
超精密氣浮臺(tái)知識(shí)點(diǎn)介紹2022/10/27
超精密氣浮臺(tái)是基于靜態(tài)氣動(dòng)軸承，其安裝在滾珠面板基底：頂部與面板連接，由承轉(zhuǎn)子組成。在球和板之間有氣隙。定子與臺(tái)座外殼對(duì)應(yīng)的負(fù)形連接。定子采用內(nèi)節(jié)流原理安裝，氣動(dòng)分布通道系統(tǒng)與噴嘴組合。轉(zhuǎn)子定子與轉(zhuǎn)子在定壓和負(fù)載下沒(méi)有接觸?？捎糜趫A度測(cè)量系統(tǒng)、中心偏差測(cè)量系統(tǒng)和粗糙度測(cè)量系統(tǒng)。超精密氣浮臺(tái)基本特性超精密氣浮臺(tái)載重能力強(qiáng)，重復(fù)精度高；無(wú)限的使用壽命；無(wú)塵室應(yīng)用環(huán)境；不滑行動(dòng)作；不磨損，不調(diào)整。技術(shù)指標(biāo)：轉(zhuǎn)動(dòng)精確度(徑向和軸向跳動(dòng))。玻璃纖維編碼器：相對(duì)定位精度。有兩個(gè)版本的空氣軸承轉(zhuǎn)盤(pán)：轉(zhuǎn)盤(pán)，有角
氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)你知道多少2022/10/27
氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)你知道多少？你知道定制需要注意什么嗎？接下來(lái)小編為大家介紹一下，希望對(duì)大家能有所幫助。下面是氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)應(yīng)該注意的重要指標(biāo)如下：直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)：定位精度，單向重復(fù)定位精度，雙向重復(fù)定位精度，直線度，平面度（垂直直線度），俯角，偏擺，速度，加速度，微動(dòng)步距，整定時(shí)間，用戶負(fù)載及多軸正交性等。轉(zhuǎn)臺(tái)：定位精度，單向重復(fù)定位精度，雙向重復(fù)定位精度，軸向跳動(dòng)，徑向跳動(dòng)，偏置角度，端面跳動(dòng)，用戶負(fù)載，轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)動(dòng)面直徑等。控制系統(tǒng)硬件接口：控制軸數(shù)量；模擬信號(hào)輸入輸出；數(shù)字信號(hào)的輸入輸出；編碼器反饋信道
多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的主要優(yōu)點(diǎn)是什么2022/10/26
多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)成為應(yīng)用趨勢(shì)，伴隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸地提高性能，因此很多公司都使用氣浮臺(tái)，這是一種用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工、測(cè)試測(cè)量等高精度設(shè)備，但到底有哪些主要優(yōu)勢(shì)。1.直線性和平面性高。2.高定位精度和重復(fù)定位。3.速度穩(wěn)定。4.偏擺、縱搖、滾動(dòng)精度高。多軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高直度和平面度取決于氣浮導(dǎo)軌，材料分為鋁合金、大理石、碳化硅陶瓷等，研究其壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等參數(shù)，找出了氣膜剛度的參數(shù)區(qū)間，具有出色的性能精度，實(shí)現(xiàn)了高壓氣膜剛度的參數(shù)
精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)介紹2022/10/24
通常在科學(xué)研究、制造業(yè)中的精密測(cè)量等應(yīng)用場(chǎng)景中，常使用一些精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，通過(guò)360°旋轉(zhuǎn)被測(cè)物體，與相應(yīng)的檢測(cè)設(shè)備配合，實(shí)現(xiàn)被測(cè)物品的檢測(cè)和質(zhì)量控制。這類(lèi)需要使用的精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，一般要求具有直驅(qū)無(wú)刷電機(jī)、增量式以及相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制器和控制軟件。常見(jiàn)的有機(jī)械軸承轉(zhuǎn)盤(pán)和氣浮軸承轉(zhuǎn)盤(pán)兩種。測(cè)量精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的精度主要取決于以下幾個(gè)參數(shù)。角精度可以通過(guò)配置更高標(biāo)準(zhǔn)的光柵尺反饋，這取決于光柵的直徑大小，角度精度通常是±0.5-±2arcsec的范圍。若某些特定的應(yīng)用方案需要較高的角度精度，則可采用補(bǔ)償?shù)姆椒ā?
氣浮直線臺(tái)知識(shí)點(diǎn)科普2022/09/17
氣浮直線臺(tái)你了解嗎？接下來(lái)小編為大家介紹一下，希望對(duì)您有所幫助。氣浮直線臺(tái)的結(jié)構(gòu)形式：1）XY軸十字疊層結(jié)構(gòu)；2）XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)；3）XZ軸疊層結(jié)構(gòu)；4）XZ軸T形分布（常用單點(diǎn)車(chē)床）優(yōu)點(diǎn)如下：1.位置精度高。在空載或下料作業(yè)中，由于各運(yùn)動(dòng)部分作直線運(yùn)動(dòng)和其它相互位置的移動(dòng)，使得兩軸氣浮直線臺(tái)對(duì)導(dǎo)軌的導(dǎo)向精度要求非常嚴(yán)格。決定導(dǎo)向精度的主要因素是加工精度、結(jié)構(gòu)形式、導(dǎo)軌剛度、熱變形等。2.耐磨性能好。在使用過(guò)程中能保持一定的導(dǎo)向精度，這是其耐磨性的體現(xiàn)，導(dǎo)軌工作的進(jìn)行必然會(huì)有磨損，因此兩軸
在使用氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)時(shí)應(yīng)注意什么2022/09/17
氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)是一種非常精密的機(jī)械設(shè)備，如果使用不當(dāng)，會(huì)降低移臺(tái)的使用壽命。現(xiàn)在，小編想講一下氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的注意事項(xiàng)。如下：1.根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)和機(jī)器安裝空間設(shè)施的需要，使用底部的四個(gè)固定螺孔或安裝底座，直接安裝或加大理石基座安裝。2.安裝時(shí)，安裝基面平面度要小于5μm，如果安裝基面不平整，建議加大理石底座安裝。3.螺絲固定時(shí)要均勻受力，不可用力過(guò)大或力度不足，請(qǐng)參考《螺釘緊固扭矩規(guī)范》，同時(shí)電機(jī)是帶磁性的，防止螺釘吸入直線電機(jī)內(nèi)部。4.安裝在固定基座或工作臺(tái)前，禁止在安裝基面上摩擦，容易損壞氣浮位移臺(tái)的安裝
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)知識(shí)點(diǎn)科普2022/09/17
實(shí)際上，在科學(xué)研究和精密制造工業(yè)中都可以看到一些氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的專(zhuān)業(yè)設(shè)備，這些專(zhuān)業(yè)設(shè)備在使用過(guò)程中能有效地保證其精度性能，相對(duì)于機(jī)械式轉(zhuǎn)臺(tái)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的作用更大，能更好的保證精度，但看到許多設(shè)備時(shí)，多數(shù)人可能不知道這到底有什么好處，我們來(lái)看看氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是什么？氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導(dǎo)入實(shí)現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過(guò)軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動(dòng)誤差。具有高速度、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、速度穩(wěn)定、無(wú)噪音等特點(diǎn)。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有
帶你了解一下精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)2022/07/30
帶你了解一下精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是精密氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)的簡(jiǎn)稱(chēng)，也可以作為一個(gè)專(zhuān)有名詞使用，是設(shè)法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來(lái)，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)軸的懸浮，獲得了較高的軸向和徑向跳動(dòng)誤差。高速度，高精度，無(wú)摩擦力，無(wú)磨損，不需要潤(rùn)滑油，有較好的速度穩(wěn)定性能，無(wú)噪音等特點(diǎn)。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是超精密機(jī)械中的一種典型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量、高精密機(jī)床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個(gè)能夠?qū)崿F(xiàn)超
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的介紹2022/07/30
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導(dǎo)入實(shí)現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過(guò)軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動(dòng)誤差。具有高速度、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、速度穩(wěn)定、無(wú)噪音等特點(diǎn)。氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有諸多優(yōu)點(diǎn)，因此用氣浮軸承替代普通機(jī)械軸承已得到越來(lái)越高的應(yīng)用精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的功能及應(yīng)用范圍氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)以穩(wěn)定高精度的旋轉(zhuǎn)。這個(gè)力是通過(guò)引入空氣來(lái)實(shí)現(xiàn)的，該間隙很小，從而保證了轉(zhuǎn)軸的懸浮。高速、高精度、無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)潤(rùn)滑油、有速度控制性能、無(wú)噪音。氣浮工
氣浮平臺(tái)的構(gòu)成2022/07/30
氣浮平臺(tái)的精度是精密機(jī)械的核心。我公司為微光微刻技術(shù)、CNC加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備、納米表面形貌測(cè)量等領(lǐng)域提供了一種能實(shí)現(xiàn)精確定位和精確移動(dòng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。氣浮平臺(tái)是光刻機(jī)貼片機(jī)等電子制造設(shè)備的主要工作機(jī)構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品的體積越來(lái)越小，對(duì)精度的要求越來(lái)越高。所以，高精度、高穩(wěn)定性的移動(dòng)平臺(tái)對(duì)于電子設(shè)備的發(fā)展有著舉足輕重的作用。另外，微電子系統(tǒng)制造和測(cè)試、光學(xué)測(cè)量加工、超精密加工、航空發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)量制造等領(lǐng)域都離不開(kāi)精密定位技術(shù)。因?yàn)榭諝廨S承精度比滾動(dòng)軸承高兩個(gè)數(shù)量級(jí)，且精度高，摩擦系
氣浮平臺(tái)的工作原理2022/07/30
氣浮平臺(tái)有氣浮直線平臺(tái)與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺(tái)兩類(lèi)。氣浮平臺(tái)的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺(tái)，基于空氣軸承的原理，讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、無(wú)振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。氣浮平臺(tái)的氣浮直線導(dǎo)軌常見(jiàn)的形式有：1.重力平衡式氣浮導(dǎo)軌；2.閉式氣浮導(dǎo)軌；3.永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌；4.真空吸附式氣浮導(dǎo)軌。常見(jiàn)的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：1.小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)；2.多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。氣浮平臺(tái)的高直線度和平面度依賴(lài)于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓
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